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5-51 5 6.4 识别参数 识别参数 66537-N7-00 A: 表面类型 参考下表设置标记表面与基板 ( 标记周围 ) 的明暗关系。 非反光体 标记比基板暗 反光体 标记比基板亮 设 置 亮度比较 基板 标记 基板 标记 表面类型 识别状态 65533-N7-00 B: 识别类型 识别类型分以下 6 种。 · 标 准 ： 除图样以外，所有的形状类型都使用本识别类型。但，本方法无法识别时，可以尝试使用其它识别方法。 · 特…
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A、B: 标记外形 (mm)
输入标记的外形尺寸。参照下表输入用直尺等测得的准确数值。
基本参数的“标记类型”设置为“坏板标记”时，不显示本参数，改显示为“标记检测范围”。
例 标记外型 形状类型
X
X
Y
Y
输入直径的长度
输入各边的长度
输入一边的长度
在“标记外形X”中输入X的长度,
在“标记外形Y”中输入Y的长度。
标记检测范围内显示的两条边中，
输入短边的长度。
圆
正方形、长方形
正三角形
特殊形状
角检测
标记外形
65532-N7-00
C: 标记面积 (mm
2
)
本参数只有在“形状类型”设置为“特殊形状”时才显示。标记面积以 mm
2
为单位输入。
D: 标记周长 (mm)
本参数只有在“形状类型”设置为“特殊形状”时才显示。标记周长以 mm 为单位输入。
n
要点
由于受照明环境等因素影响，识别得到的数值和实际测量得到的数值不一致时容易发生错误。此时，可以加大识别参数中的“标记
识别公差”或先将“标记识别公差”设置为 100% 后，再通过标记调整进行识别测试，输入识别测试得到的面积和周长。数据得到
后再将“标记识别公差”恢复到原来的数值。
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6.4 识别参数
识别参数
66537-N7-00
A: 表面类型
参考下表设置标记表面与基板 ( 标记周围 ) 的明暗关系。
非反光体
标记比基板暗
反光体
标记比基板亮
设 置
亮度比较
基板
标记
基板
标记
表面类型
识别状态
65533-N7-00
B: 识别类型
识别类型分以下 6 种。
· 标 准 ：
除图样以外，所有的形状类型都使用本识别类型。但，本方法无法识别时，可以尝试使用其它识别方法。
· 特 殊 1
“标准”类型无法识别的标记，可以使用本类型识别。
· 特 殊 2
“标准”类型无法识别的、带缺口的标记，可以使用本类型识别。
· 图样轮廓、图样多值、整个图样
只限作为图样登录的标记使用。详细内容，请参阅本章后述“6.6图样匹配”。
C: 标记界限值
识别标记时 2 值图像的界限值，用后述的标记调整进行优化。
D: 标记识别公差 (%)
设置的标记面积值与实际通过视觉识别得到的面积值之间的误差容许值，用 % 设置，推荐值为 30。
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E、F: 标记检测范围 XY(mm)
一般以标记外形＋ 3.00mm 为准。如下图所示，标记外形为 1mm 时，输入 4mm。但是如果标记以外的图样 ( 抗蚀图案、
图样名、其它 ) 也被检出时，可缩小标记检测范围，使设置的范围只能检出标记。
1
4
标记检测范围
标记
基板
标记检测范围示例
65534-N7-00
参考
基本参数的“标记类型”设置为“坏板标记”时，“标记检测范围”显示在“形状”选项卡画面。
G 〜 K: 照明级别
识别标记时的照明被分成几个区域，各个区域的照明级别都在此设置。之后用后述的标记调整执行最优化。
L、M: 标记外部、内部噪点消除数
以 2 值化方式识别标记图像时，为消除标记内部或外部的噪点而设置的数值。用后述的标记调整求得最佳值后输入。
N: 识别流程
一般设置为“标准”。重视识别速度时设置为“快速”，重视识别精度时设置为“精细”。