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5-53 5 6.5 进行标记调整 标记调整是确认所设置的参数是否适当的作业。未设置的参数则通过识别测试获取最佳值。 在此，以基本参数的“标记类型”的设置为“基准标记”为例介绍标记的调整方法。 1 选择标记数据。 打开标记画面，将光标移至想要确认的数据行。 2 打开标记调整画面。 按 [ 标记调整 ] 按钮，打开如下图所示画面。 标记调整画面 45 66538-N7-00 3 将基板固定在传送轨上。 n 要点 固定基板之前，必须先对传送…
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E、F: 标记检测范围 XY(mm)
一般以标记外形＋ 3.00mm 为准。如下图所示，标记外形为 1mm 时，输入 4mm。但是如果标记以外的图样 ( 抗蚀图案、
图样名、其它 ) 也被检出时，可缩小标记检测范围，使设置的范围只能检出标记。
1
4
标记检测范围
标记
基板
标记检测范围示例
65534-N7-00
参考
基本参数的“标记类型”设置为“坏板标记”时，“标记检测范围”显示在“形状”选项卡画面。
G 〜 K: 照明级别
识别标记时的照明被分成几个区域，各个区域的照明级别都在此设置。之后用后述的标记调整执行最优化。
L、M: 标记外部、内部噪点消除数
以 2 值化方式识别标记图像时，为消除标记内部或外部的噪点而设置的数值。用后述的标记调整求得最佳值后输入。
N: 识别流程
一般设置为“标准”。重视识别速度时设置为“快速”，重视识别精度时设置为“精细”。
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6.5 进行标记调整
标记调整是确认所设置的参数是否适当的作业。未设置的参数则通过识别测试获取最佳值。
在此，以基本参数的“标记类型”的设置为“基准标记”为例介绍标记的调整方法。
1
选择标记数据。
打开标记画面，将光标移至想要确认的数据行。
2
打开标记调整画面。
按 [ 标记调整 ] 按钮，打开如下图所示画面。
标记调整画面
45
66538-N7-00
3
将基板固定在传送轨上。
n
要点
固定基板之前，必须先对传送装置进行调节。调节传送装置的方法，请参阅前述第 2 章“3.4 调节传送装置”。
4
对标记进行示教。
1. 按 [ 移动 Head] 按钮，打开移动点胶头的画面。
2. 使用箭头按钮移动点胶头，使画面上的十字光标对准标记 ( 下图所示的示教位置 )。
3. 按 [ 关闭 ] 按钮，返回标记调整画面。
形状类型 示教位置 例
圆、正方形
正三角形、特殊形状
角检测
标记的中心
角部
：十字光标
标记示教位置
65535-N7-00
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5
5
设置标记照明。
按 [ 标记照明 ] 按钮，设置照明级别。
标记与背景的明暗差别 ( 光的反差程度 ) 大，且整个标记看上去亮度均一时为最佳值。
标记照明设置
66539-N7-00
主要标记的照明设置参考
· 铜箔、镀金
设置白色外圈、内圈、同轴亮灯 ( 照明级别 1)。
如果标记太暗，可以提高内圈的亮度。
· 喷 锡
设置白色外圈、内圈、同轴亮灯 ( 照明级别 1)。
如果显示出的标记表面凹凸大，轮廓有缺少时，可以加强外圈的照明。
· 陶瓷质地基板中的金属标记
设置白色内圈、同轴亮灯 ( 照明级别 1)。
如果陶瓷部分过于明亮，可以只设置 IR 亮灯。