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3-2 3 1.2 基板夹固状态、动作的确认 1.2.1 基板夹固状态的确认 按照下列项目，确认基板的夹固状态。 1. 夹固后，基板无松动。 2. 夹固后，基板压板和基板之间无间隙。 3. 夹固后，传送轨面和基板面无高低之差。 4. 基板固定夹组件动作顺畅。 1.2.2 基板夹固动作的确认 1 按 [ 装置 ] 按钮， 选择“传送装置”画面。 2 按 [ 传送宽度 ] 按钮，输入基板宽度。 显示 “调节更改传送宽度” 对话…
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3
1.每周
1.1 确认传送装置传感器的状态、动作
本机传送装置使用穿透型光纤传感器。调节传送宽度之后，必须确认传感器是否正常感应。
确认传送装置传感器的状态、动作
发射光
接受光
55300-N7-00
1
选择装置画面的“传送装置”选项卡。
2
按 [ 传送宽度 ] 按钮，调节传送宽度。
显示“调节传送宽度”对话框之后，输入传送宽度，
按 [OK] 按钮。传送宽度变为指定的宽度。
3
确认是否出错。
调节传送宽度时，若没有显示错误警告，表示传送
装置传感器可以正常感应。确认作业到此结束。
若显示了错误警告，必须按照下列步骤调节传感器。
56300-N7-00
■ 传送装置传感器的调节方法
若调节传送宽度时发生了错误，必须确认传感器的信号
输出状态。
1.打开 [ 装置 ]-“I/O”选项卡。
2.从信号输出下拉框选择“传送装置”。
3.选择“CONVSENSORTUNING”(T01000E,0)
4.按 [ON/OFF] 按钮，切换 0(OFF) → 1(ON) → 0(OFF)，进
行调节。
5.再次按 [ 传送宽度 ] 按钮，调节传送宽度，若不再显示
错误警告，表示传感器正常。
56301-N7-00
传送装置传感器的确认
Step 1-2
传送装置传感器的调节
2
3
4
Step 3
3-2
3
1.2 基板夹固状态、动作的确认
1.2.1 基板夹固状态的确认
按照下列项目，确认基板的夹固状态。
1.夹固后，基板无松动。
2.夹固后，基板压板和基板之间无间隙。
3.夹固后，传送轨面和基板面无高低之差。
4.基板固定夹组件动作顺畅。
1.2.2 基板夹固动作的确认
1
按 [ 装置 ] 按钮，选择“传送装置”画面。
2
按 [ 传送宽度 ] 按钮，输入基板宽度。
显示“调节更改传送宽度”对话框后，输入传送宽度，
按 [OK] 按钮。传送宽度变为指定的宽度。
3
输入基板厚度。
按 [ 顶板 ] 按钮，显示指定基板厚度的对话框。
在“厚度”输入框中输入基板厚度之后，按 [OK]
按钮。
4
按 [ 基板固定夹 ] 按钮，夹固基板。
5
再次按 [ 基板固定夹 ] 按钮，松开基板。
56302-N7-00
反复进行“Step4、5”的基板夹固、松开动作，确认
是否稳定。
确认动作
Step 2-5
2
3
4、5
3-3
3
2.每月
本章节，以点检之后的清洁与加油为中心介绍每月需保养的项目。
每月需按照下述点检要点对各轴的滚珠丝杆、导轨进行点检。X、Y 轴的滚珠丝杆装有防止润滑油飞溅的护盖，
点检时，需拆下护盖之后再进行。
■点检要点
1. 滚珠丝杆和导轨上是否粘附有异物？
确认是否有芯片等粘附在滚珠丝杆和导轨上？
2. 滚珠丝杆和导轨的润滑油使用状态是否适当？
确认润滑油没有流出、飞溅现象，也没有变色和凝固。
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3. 滚珠丝杆是否有异响？
在按下紧急停机按钮的状态下，用手推动 X 轴或 Y 轴检查滚珠丝杆是否有异响。
■解决方法
1.异物被夹入，是磨损滚珠丝杆与导轨的重要原因。如果有异物粘附，必须连同润滑油一并擦去或用镊子等除去。
2.参阅后述“清洁、加油”的内容添加润滑油。
3.如果进行了上述第 1. 与第 2. 的处理后仍然无法消除异响，请与 YAMAHA 或代理商联系。
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注意
有关润滑油的使用，请参阅第 1 章“2.维护保养作业前的准备”中有关润滑油的使用注意事项。
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注意
各轴的滚珠丝杆和导轨出现异响时，请与销售代理商或直接与 YAMAHA 联系。客户自行拆开清洁则不在保修范围内。