SM310维修手册中文版.pdf.pdf - 第10页
头部 1 真空 室 真空 室 真空 室 S AMS UNG TE C HW IN J9057166A 送料器底座总成（前部 - 直 流） 3 点 1/ 8 J9057171A 送料器底座总成（后 部 - 直 流） F - 3 1 2 0 - 8 5 KJ S0 1- 32 KJ S0 1- 32 K J S 0 1 - 3 2 K Q2 L0 6 -0 1 * K Q 2 U 0 6 - 0 0 A KH 06 - 00 * BU YD…
头部
5
S AMS UNG TE C HWIN
前
后
F-3120-85
KJS01-32
KJS01-32
送料器
底座
送料器
底座
KJS01-32
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5 KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
AR08-T2-D0M0-J199A
J7254040B
吹气
manifold
J9080340A
头部密封总成 #1
KQ2R06-08
KQ2U08-10
X10X6CF
平管-X，J7358003A
F-3120-85
真空
室
真空
室
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-85
F-3120-80
F-3145-80
F-3120-80
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-70
F-3145-80
F-3145-80
F-3120-70
J9058076A
滤清器
总成
J9058076A
滤清器
总成
头部
2
KQ2E04-01S
GP46-10-01L5
前门架空气模块
AF40-04BC AFM4000-04C
J9058092A-空气滤清器总成
J6709012A
TAR4000-04
J9058040B
VXD2140-04-5G-B
KQ2T10-12
后部龙门空气模块
F-3120-85
真空
室
F-3120-20
F-3120-85
F-3120-80
F-3120-
70F-3145-80
头部
3
J9058076A
滤芯
组件
KQ2L04-M5
M-5AU-4
M-5AU-4
KQ2S04-M5
KQ2L04-M5
AR1000-M5BG
前
分配器总成（ST）
J9058093A
SYS3120-04-KRIW2703
KPT18
AN101-01
KPT18
J9058093A
SYS3120-04-KRIW2703
后部
KQ2S04-M5
KQ2L04-M5
AR1000-M5BG
KQ2L04-M5
M-5AU-
4
M-5AU-4
真空
室
F-3120-85
F-3120-85
真空
室
真空
室
F-3120-85
F-3145-80
F-3120-80
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-20
F-3120-85
F-3120-80
F-3145-80
F-3120-80
F-3120-85
F-3120-20
F-3145-80
F-3120-70
F-3120-
70F-3145-80
F-3145-80
F-3120-70
J9058076A
滤清器
总成
J9058076A
滤清器
总成
J9058076A
滤清器
总成
前缘固定器
CQ2B6-2-
KRIC1761
进气口止动器
CDQSB12-25DC-A93L
前ANC
BDAS10X10_1A_ZC153A2
前挡板
MHY2-01-IU2054-D-
M9N(3m)
前部 BUT
CXSM25-
KRU0004-30-A93L
前部按钮
CXSM25-
KRU0004-30-A93L
前挡板
MHY2-01-IU2054-D-
M9N(3m)
前ANC
BDAS10X10_1A_ZC153A2
进气口止动器
CDQSB12-25DC-A93L
前边缘固定器
CQ2B6-2-KRIC1761
J9080341A
头部密封组件 #2
头部
1
头部
4
头部
6
AN101-01
KQ2L04-M5
VQ110U-5MO
WR0640
KQ2H06-00
SYS3120-5LZ-M5
AS1211F-M5-04
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
SYS3120-5LZ-M5
AS1301F-M5-04
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
AS1301F-M5-04
SYS3120-5LZ-M5
KQ2L04-M5
M-5ALN-4
KQ2L04-M5
M-5ALN-4
SYS3120-5LZ-M5
AS1211F-M5-06
KQ2L06-M5
KQ2L06-M5
AS1211F-M5-06
AN101-01
PL12-03
插头[PT
3/8]
KQL08-03S
插头[PT
3/8]
KQ2T04-00
KQU08-00
KQ2VD04-02S
KQ2T04-00
插头[PT
3/8]
KQ2VD04-02S
KQL04-M5
KQ2H08-01S
AS1211F-M5-06
KQ2L06-M5
KQ2H12-04
KQ2L06-M5
AS1211F-M5-06
SYS3120-5LZ-M5
KQ2L04-M5
M-5ALN-4
KQ2L04-M5
M-5ALN-4
SYS3120-5LZ-M5
KQ2L04-M5
AS1301F-M5-04
KQ2L04-M5
AS1301F-M5-04
SYS3120-5LZ-M5
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
AS1211F-M5-04
SYS3120-5LZ-M5
VQ110U-5MO
KQ2L04-M5
AN101-01
KQ2H06-00
KQL12-04
KQL12-04
KQ2L12-04
KQ2L12-04
KQ2H08-01S
KQL12-04
KQL12-04
压力
传感器
压力
传感器
压力
传感器
压力
传感器
压力
传感器
压力
传感器
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
头部
1
真空
室
真空
室
真空
室
S AMS UNG TE C HWIN
J9057166A 送料器底座总成（前部- 直流）
3点 1/8
J9057171A 送料器底座总成（后部-直流）
F-3120-85
KJS01-32
KJS01-32
KJS01-32
KQ2L06-01
*KQ2U06-00
AKH06-00
*BUYD06-04
AR08-T2-D0M0-J199A
J7254040B
吹气
manifold
J9080340A
头部密封总成 #1
J9057168A
U2-4-6*4
KQ2U06-00
AS2201F-01-06S
蓝色
ASP330F-01-06S
AN101-01
蓝色
4-PT18EF
2-KQ2L06-M5
KQ2S04-M5
KD-M5-SA34697KR
J9057172A
2-
KQ2E04-01S
KQ
2R06
-
08K
Q
2U08-10
X10X6CF
平管-X，J7358003A
F-3120-85
真空
室
真空
室
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-85
F-3120-80
F-3145-80
F-3120-80
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-70
F-3145-80
F-3145-80
F-3120-70
J9058076A
滤清器
总成
J9058076A
滤清器
总成
头部
2
U2-4-4*2.5
送料器底座（直流）
KS-4-M5-SA34698KR
U2-4-
4*2.5KQ2S04-M5
GP46-10-01L5
前门架空气模块
AF40-04BCAFM4000-04C
J9058092A-空气滤清器总成
前
J6709012A
TAR4000-04
J9058094A
分配器总成（直流）
J9058093A
VXD2140-04-5G-B
J9058093A
KQ2T10-12
后部门架空气模块
后部
F-3120-85
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-85
F-3120-80
F-3145-80
F-3120-80
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-70
F-3145-80
F-3145-80
F-3120-70
头部
3
J9058076A
滤清器
总成
J9058076A
滤清器
总成
SYS3120-04-KRIW2703
KPT18 KPT18
SYS3120-04-KRIW2703
KQ2L04-M5
KQ2S04-M5
KQ2L04-M5
AN101-01
KQ2S04-M5
KQ2L04-M5
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-85
F-3120-80
F-3145-80
F-3120-80
F-3120-85
F-3120-70
F-3145-80
F-3145-80
J9058076A
滤清器
总成
J9058076A
滤清器
总成
M-5AU-4
M-5AU-4
AR1000-M5BG
AR1000-M5BGKQ2L04-M5
M-5AU-
4
M-5AU-4
F-3120-85
F-3120-20
F-3120-70
前缘固定器
CQ2B6-2-
KRIC1761
进气口止动器
CDQSB12-25DC-A93L
前ANC
BDAS10X10_1A_ZC153A2
前工作停止器
MHY2-01-
IU2054-D-M9N(3m)
前部按钮
CXSM25-
KRU0004-30-A93L
前部 BUT
CXSM25-
KRU0004-30-A93L
前工作停止器
MHY2-01-
IU2054-D-M9N(3m)
前ANC
BDAS10X10_1A_ZC153A2
进水口止回阀
CDQSB12-25DC-A93L
前缘固定器
CQ2B6-2-
KRIC1761
J9080341A
头部密封组件 #2
头部
4
真空
室
头部
5
头部
6
AN101-01
KQ2L04-M5
VQ110U-5MO
WR0640
KQ2H06-00
SYS3120-5LZ-M5
AS1211F-M5-04
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
SYS3120-5LZ-M5
AS1301F-M5-04
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
AS1301F-M5-04
SYS3120-5LZ-M5
KQ2L04-M5
M-5ALN-4
KQL12-04
KQ2L04-M5
M-5ALN-4
KQL12-04
SYS3120-5LZ-M5
AS1211F-M5-06
KQ2L06-M5
KQ2L06-M5
AS1211F-M5-06
AN101-01
PL12-03
插头[PT
3/8]
插头[PT
3/8]
KQL08-03S
KQU08-00
KQ2VD04-02S
插头[PT
3/8]
KQ2VD06-02S
KQ2H08-01S
AS1211F-M5-06
KQL04-M5
KQ2H12-04
KQ2L06-M5
KQ2L06-M5
AS1211F-M5-06
SYS3120-5LZ-M5
KQ2L04-M5
M-5ALN-4
KQ2L12-04
KQ2L04-M5
M-5ALN-4
SYS3120-5LZ-M5
KQ2L12-04
KQ2L04-M5
AS1301F-M5-04
U2-4-4*2.5
KQ2L04-M5
AS1301F-M5-04
SYS3120-5LZ-M5
KQL12-04
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
KQ2L04-M5
AS1211F-M5-04
SYS3120-5LZ-M5
KQL12-04
KQ2H06-00
VQ110U-5MO
U2-4-4*2.5
KQ2L04-M5
AN101-01
KQ2H08-01S
压力
传感器
压力
传感器
压力
传感器
压力
传感器
压力
传感器
压力
传感器
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
KQ2H23-M5
AF100-KRU0638
S AMS UNG TE C HWIN
前
后
送料器
底座
送料器
底座
10 10 10 10
11
11
7
2
4-D
4
1
8-A
8-F 8-F
8-B
6
4-E
4-C
4-A
4-B
4-C
5 5
调节器
8-D
8-G
8-B
8-C
8-B
8-E
5 5 9
空气SOL阀组件
空气滤清器总成
8
歧管总成 (ST)
3