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SIPLACE „Head Ver ification“ Bedienungsanleitun g Ausgabe 01/2015 33 Der Mittelwert aus de n drei Measure 1- M easure 3 erg ibt den Wert End position Z . Dieser W ert zeigt, ob ein Segm ent über den gesam ten konstruktiv…
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End position Z [µm] = (Measure 1 [µm] + Measure 2 [µm] + Measure 3[µm]) /3
3. Ergebnis-Anzeige (OK grüner Hacken / NOK rotes X)
Sobald ein Wert bei Measure 1 – Measure 3, oder auch der Mittelwert End position Z
außerhalb der Toleranz sind, wird das Segment als fehlerhaft markiert.
4. Hier werden die Ergebnisse der drei Z-Achsenbewegungen mit dem Verfahrprofil TP1 [TP1
ABSOLUT DEFAULT] eingetragen. Jedes Ergebnis muss innerhalb der Toleranz (in unserem
Fall 30300..30510µm) liegen. Ist dies nicht der Fall, deutet es darauf hin, dass die
Segmentführung nicht leichtgängig ist.
5. In diesem Diagramm werden die Werte der Segmente für End position Z veranschaulicht.
Blaue Linie Mittelwert End position Z [µm] der einzelnen Segmente
Rote Grenzlinien Toleranzen Min und Max (in unserem Fall 30300..30510µm)
Mit dem Button kann das Diagramm vergrößert werden.
6. In diesem Diagramm werden die Werte für Measure 1 – Measure 3 je Segment
veranschaulicht.
3x Blaue Säule Measure 1 – Measure 3 [µm] je Segment
Die oberen und unteren Diagrammgrenzen orientieren sich an der Streuung der Ergebnisse
aller Werte für Measure 1 – Measure 3, deswegen ist die Abweichung der Balkenlänge
durchaus verwirrend!
Mit dem Button kann das Diagramm vergrößert werden.
4.4.3 Erklärung des Messergebnisses anhand der Ergebnis-PDF
Diese Ergebnisse kann man sehen, wenn man im Summary-Menü nach unten scrollt, oder eine
Ergebnis-PDF erzeugt!
Abbildung 21: Ergebnis-PDF Z-movement
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Der Mittelwert aus den drei Measure 1- Measure 3 ergibt den Wert End position Z.
Dieser Wert zeigt, ob ein Segment über den gesamten konstruktiven Verfahrbereich leichtgängig
bewegt werden kann. Der Wert End position Z sowie die drei Einzelmessungen Measure 1 –
Measure 3 müssen alle innerhalb der Toleranz liegen. Leichte Abweichungen sind normal.
In unserem Beispiel kann man sehen, dass die Measure 1 einen Wert von 30405µm ergeben hat. Die
beiden anderen Measure 2 – 3 haben jeweils einen Wert für den Verfahrbereich von 30406µm
ergeben.
Man kann diesen Unterschied auch an den Balkenlängen im Diagramm sehen.
Wenn nun eine Measure1, 2 oder 3 außerhalb der Toleranz ist, so kann man davon ausgehen, dass
die Führung dieses Segments defekt ist, da nicht wiederholbar eine Leichtgängigkeit nachgewiesen
werden konnte. Die DP (bei CP20P/A) oder die Segmentführung (bei CPP) müsste in nächster Zeit
ausgewechselt werden.
Falls alle Measure1 – Measure3 außerhalb der Toleranz sind, so kann mit Sicherheit gesagt werden,
dass die Führung schwergängig ist. Die DP (bei CP20P/A) oder die Segmentführung (bei CPP) muss
getauscht werden.
4.4.4 Deutung der Ergebnisse
Fehler bei End position Z an allen Segmenten:
1. Z-Achsen Linearführung ist defekt
Komplette Z-Achseneinheit austauschen
Fehler bei End position Z an einzelnen Segmenten:
1. Wenn alle Measure 1 – Measure 3 außerhalb der Toleranz sind, dann ist die Linearführung des
Segments (CPP) oder der DP (CP20P/A) defekt
CPP: Austausch der Linearführung des Segments
CP20P/A: Austausch der DP
2. Wenn nur eine Measure1, 2 oder 3 außerhalb der Toleranz sind, so kündigt sich eine
zunehmende Schwergängigkeit der Segmentführung an.
CPP: Austausch der Linearführung des Segments vorbereiten
CP20P/A: Austausch der DP vorbereiten
4.5 Messung „Anti Glare Shield mounting“
Für diese Messungen werden folgende Teile benötigt:
CP20A: 20x Nozzletype 1069 03094112-01 (Vakuumpipette rot geschlossen)
4.5.1 Erklärung der Messung – Ablauf
Mit dieser Messung wird die korrekte Montage der Blendschaltringe (Anti Glare Shields) überprüft. Die
Blendschaltringe sind ein wichtiger Bestandteil der CP20A-Köpfe, da diese für eine korrekte
Betätigung der Lichtschranke Z-Unten zuständig sind.
Der Spannungswert der Lichtschranke Z-Unten wird überprüft, während das Segment in 90°-Schritten
gedreht wird. Somit bekommt man einen Überblick, ob der Blendschaltring defekt, schief oder
unsauber montiert ist.
Mithilfe der Ergebnisse dieser Messungen können letztendlich auf folgende Ursachen Rückschlüsse
gezogen werden:
1. Zustand der Lichtschranke Z-Unten
2. Montagefehler des Blendschaltringes an der DP
3. Zustand der Blendschaltringe
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Ablauf der Messung im Detail:
1. Die Z-Achse bleibt in der oberen Position
2. Alle DP werden referiert, so dass sie bei 0° stehen.
3. Nun wird Segment 1 in die Bestückposition gedreht, bleibt aber in der oberen Position.
4. Messung 0°:
Die Lichtschranke Z-Unten wird nun aktiviert und misst den Abstand zum Blendschaltring von
Segment 1. Die Lichtschranke Z-Unten gibt einen analogen Spannungswert für den Abstand
aus. Dieser Wert wird als Measure 1 [mV] bezeichnet.
Dieser Wert bei 0° wird auch als Referenzwert benutzt, um die generelle Funktionalität der
Lichtschranke zu überprüfen. Dieser Referenzwert wird mit einem theoretischen Wert in den
MA-Daten verglichen.
5. Drehung Segment 1 auf 90°
6. Messung 90°:
Die Lichtschranke Z-Unten wird nun aktiviert und misst den Abstand zum Blendschaltring von
Segment 1. Die Lichtschranke Z-Unten gibt einen analogen Spannungswert für den Abstand
aus. Dieser Wert wird als Measure 2 [mV] bezeichnet.
7. Drehung Segment 1 auf 180°
8. Messung 180°:
Die Lichtschranke Z-Unten wird nun aktiviert und misst den Abstand zum Blendschaltring von
Segment 1. Die Lichtschranke Z-Unten gibt einen analogen Spannungswert für den Abstand
aus. Dieser Wert wird als Measure 3 [mV] bezeichnet.
9. Drehung Segment 1 auf 270°
10. Messung 270°:
Die Lichtschranke Z-Unten wird nun aktiviert und misst den Abstand zum Blendschaltring von
Segment 1. Die Lichtschranke Z-Unten gibt einen analogen Spannungswert für den Abstand
aus. Dieser Wert wird als Measure 4 [mV] bezeichnet.
11. Die gesamte Rotation (Rundlauf) des Blendschaltringes wird mit dem Wert Mounting variation
[µm] bezeichnet.
Dieser Wert wird errechnet aus der dem minimalen und maximalen Ergebnis der Measure 1 –
Measure 4. Die Differenz aus dem kleinsten und größten analogen Spannungswert ergibt einen
Wert, der die Aussermittigkeit des Blendschaltringes beschreibt und der Blendschaltring um die
Mittelachse der DP rotiert (taumelt).
Ist dieser Wert größer als eine definierte Toleranz, so ist der Blendschaltring nicht korrekt
montiert oder defekt.
12. Nun werden die Messungen 4.-11. für alle weiteren Segmente durchgeführt.