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安全 にお 取扱 いいただくために Tg 1 168 -ID-GU 安全 - 35 電気ノイズなどが入らない場所であること。 装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し てください。 可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。 油煙またはほこりがない場所であること。 水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。 メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。 前後…
安全にお取扱いいただくために
Tg1168-ID-GU
安全 -34
据付け時の注意
設置環境が悪いと、装置の性能が十分に発揮されなかったり、故障や事故の原因
にもなります。
設置の際には、以下に示す各項目にしたがって正しい環境を確保してください。
装置の移設を予定されている場合は、あらかじめ株式会社日立ハイテクノロジー
ズの営業部門または販売代理店にご相談ください。
装置の質量を支える強度が保持できる場所であること。
装置の据付け場所は 1 階を推奨します。
1 階以外に据付ける場合は、株式会社日立ハイテクノロジーズの
営業部門または販売代理店にご相談ください。
著しい振動がない場所であること。
周囲温度が 20
±
10
°
C であること。
また、湿度が 30 ～ 80% の範囲にあり、結露しない場所であること。
装置を現在の装置表面温度より高い温度の環境に搬入 / 搬出する場合は、以下の
条件により結露するおそれがあります。
結露すると、装置が故障する原因となりますので注意してください。
結露の条件
“搬入 / 搬出の湿度 (%)”を基準にすると、“搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度
との差”が、以下の値以上になると結露のおそれがあります。
搬入 / 搬出の湿度 (%) 搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度との差
80 3
°
C 以上
70 6
°
C 以上
60 8
°
C 以上
50 10
°
C 以上
40 14
°
C 以上
30 18
°
C 以上
ノート
0612-006
安全にお取扱いいただくために
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安全 -35
電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
油煙またはほこりがない場所であること。
水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板供給部また
は基板排出部のコンベア開口部が大きい場合には、隙間ができないように、
お客様において処置を施してください。
供給電源について
本装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
•
電圧 ： 3 相 AC 200V
±
20V
•
皮相電力 ： 約 11.5 kVA
電圧が変動したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼす
ばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
1 次電源の準備および接続は、貴社にて対応願います。
•
装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン (PE) を接続し
てください。
•
接地 (PE) は、D 種接地工事 ( 旧第 3 種接地工事 ) 以上としてください。
•
接地ラインは、他のケーブル (L1、L2、L3) よりも余裕をもった長さで接続
してください。
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安全 -36
エアについて
本装置には、空気圧が 0.45 ～ 0.69 MPa (4.6 ～ 7 kgf/cm
2
) で、水分、油分およ
び塵埃 ( ダスト ) を含まない空気 ( ドライクリーンエア ) を供給してください。
水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な動作
をしなくなるおそれがあります。
ドライクリーンエアとは
水 分 ： 露点 -17
°
C 以下 ( 大気圧 )
油 分 : 0.1mg/m
3
以下 (ANR)
ダスト : 固形物 0.01
µ
m 以下
データのバックアップについて
装置の故障や誤操作などで、データが使えなくなる場合があります。 万一に備え
て、ハードディスクの内容をネットワークターミナル ( オプション ) に定期的
にバックアップしてください。
コンピュータウィルスについて
プログラムやデータが急に壊れたり、予測できない動作をしたり、操作パネルに
異常な画面が表示されるときは、コンピュータがコンピュータウィルスに感染し
た可能性があります。
コンピュータウィルスとは、コンピュータに密かに侵入し、コンピュータを勝手
に動かしたり、データを破損する悪質なプログラムのことです。また、そのよう
なコンピュータウィルスを除去するプログラムをワクチンプログラムといいま
す。
コンピュータウィルスが感染したコンピュータからの通信やコンピュータウイル
スに感染した記録媒体を介してコンピュータウィルスが感染することがありま
す。
装置内蔵のコンピュータがコンピュータウィルスに感染する恐れのある場合は、
ワクチンプログラムでチェックしてください。ただし、ワクチンプログラムの種
類によって、コンピュータのウィルスを取り除くことができないことがあります。
このような場合には、事前にデータのバックアップを必ずとっておいてください。
ノート
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