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2 章
センサおよび負荷配置図
この章では、各部のセンサおよび負荷配置図を記載してい
ます。高度な内容を含みますので、参照する場合は、十分
ご注意ください。
2 章 センサおよび負荷配置図
0603-005 2-A
Tg1172-ID-MD
0603-005 2-B
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0603-005
センサ / 負荷レイアウト 架台下
センサ / 負荷レイアウト 架台下
M118
M117
M116
S141
BB-M66
M109
M111
M110
記号 名称 記号 名称
BB-M66 真空ポンプ１ S141 圧力スイッチ
M109 電装 BOX 左側面冷却ファン（前側） M116 電装 BOX 右側面冷却ファン（前側）
M110 電装 BOX 左側面冷却ファン（後側） M117 電装 BOX 右側面冷却ファン（後側）
M111 電装 BOX( 左 ) 冷却ファン M118 電装 BOX( 右 ) 冷却ファン
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