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0603 - 005 センサ / 負荷レイアウト 架台上 センサ / 負荷レイアウト 架台上 M107 M108 M112 記号 名称 記号 名称 M107 上架台冷却ファン（左前側） M108 上架台冷却ファン（左後側） M112 コンベア多軸アンプ冷却ファン 2 - 2 Tg 1172 -ID-MD
0603-005
センサ / 負荷レイアウト 架台下
センサ / 負荷レイアウト 架台下
M118
M117
M116
S141
BB-M66
M109
M111
M110
記号 名称 記号 名称
BB-M66 真空ポンプ１ S141 圧力スイッチ
M109 電装 BOX 左側面冷却ファン（前側） M116 電装 BOX 右側面冷却ファン（前側）
M110 電装 BOX 左側面冷却ファン（後側） M117 電装 BOX 右側面冷却ファン（後側）
M111 電装 BOX( 左 ) 冷却ファン M118 電装 BOX( 右 ) 冷却ファン
2-1
Tg1172-ID-MD
0603-005
センサ / 負荷レイアウト 架台上
センサ / 負荷レイアウト 架台上
M107
M108
M112
記号 名称 記号 名称
M107 上架台冷却ファン（左前側）
M108 上架台冷却ファン（左後側）
M112 コンベア多軸アンプ冷却ファン
2-2
Tg1172-ID-MD
0603-005
センサ / 負荷レイアウト カバー
センサ / 負荷レイアウト カバー
M102
-S111
M101
-S131
-S132
-S111
-S112
-S122
-S122
-S105
-S105
記号 名称 記号 名称
M101 天井冷却ファン 1 M102 天井冷却ファン 2
-S111 フィーダ準備完了 1 -S111 フィーダ準備完了 2
-S131 カバー 1( 後 ) -S132 カバー 1( 前 )
-S122 非常停止 ( 後 ) -S105 非常停止 ( 前 )
-S105 非常停止 ( 後 ) -S122 非常停止 ( 前 )
-S112 STAGE READY
2-3
Tg1172-ID-MD