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0603 - 005 センサ / 負荷レイアウトフィーダベースセンサ / 負荷レイアウトフィーダベース -B6951 -B6950 -Y6930 記号名称記号名称 -B6950 フィーダクランプ下限 -B6951 フィーダクランプ上限 -Y6930 フィーダクランプ 2 - 10 Tg 1172 -ID-MD

0604-006

センサ / 負荷レイアウトコンベア (NA)

-M56

-B5601

-B4202

-M42

-B5301

-M53

-Y0835

-Y0834

-Y0836

-B4201

-B4201 Amp,-B4202 Amp

-B5501

-M55

-B4201

-B4202

記号名称記号名称

-B4201 NA 搬送基板検出センサ（減速） -M42 搬送サーボモータ (NA)

-B4202 NA 搬送基板検出センサ（停止） -M55 NA-W1 シュート幅可変サーボモータ

-B5501 NA シュート幅可変 1 オーバーラン（+） -M56 NA-W2 シュート幅可変サーボモータ

-B5601 NA シュート幅可変 2 オーバーラン（-） -M53 NA バックアップサーボモータ

-B5301 NA バックアップ 1 オーバーラン（+） -Y0834 Z クランプシリンダバルブ 1( 下降 )[NA]

-B0812 NA 基板位置決めストッパ 1 上限検出 -Y0835 Z クランプシリンダバルブ 1( 上昇 )[NA]

-B0813 NA 基板位置決めストッパ 1 下限検出 -Y0836 Z クランプ圧力切替え 1(NA)

-Y0842 NA 基板位置決めストッパ 1 上下バルブ

-Y0842

-B0813

-B0812

2-9

Tg1172-ID-MD

0603-005

センサ / 負荷レイアウトフィーダベース

-B6951

-B6950

-Y6930

記号名称記号名称

-B6950 フィーダクランプ下限

-B6951 フィーダクランプ上限

-Y6930 フィーダクランプ

2-10

Tg1172-ID-MD

0603-005

センサ / 負荷レイアウト位置決め

-B0910

-B0510

-B0913

-B0911

-B0912

-B0915

-B0914

-Y0932,

-Y0933

( ダブル弁 )

-B0508,-B510 Amp

-B0508

-B0509

-B0509,-B510 Amp

記号名称記号名称

-B0508 フィーダ浮き検出 (A) -B0913 リフト部フィーダベース検出 2

-B0509 フィーダ浮き検出 (B) -B0914 シリンダ上限検出

-B0510 サプレッサ浮き検出 -B0915 シリンダ下限検出

-B0910 フィーダベース Y 方向位置決め確認 1 -Y0932 フィーダベース上昇

-B0911 フィーダベース Y 方向位置決め確認 2 -Y0933 フィーダベース降下

-B0912 リフト部フィーダベース検出 1

2-11

Tg1172-ID-MD