DECAN_S1_Admin(Chi_Ver1.1) - 第384页

14-24 Next Generation, Multi-Function al Placer DECAN S1 Administrator’s G uide  <1. Fid. Scale Mark Position> 按钮设置处于 ANC 顶面的 Fiducial Mark 的位置。下面是使用基准摄像机对 ANC 上面 Fiducial Mark 进行 T eaching 的过程。 1. 点击 <1. Fi…

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Machine Calibration

14.3.3. Fiducial Camera Scale(基准照相机测量)

Calibration的大多是Fiducial Camera进行利用。因此首先要执行Fiducial camera周期

校正。

基准相机未进行校正时，剩下的按钮不会被激活。

Fiducial Camera Scale Calibration结束后，在“Calibration” 窗口不显示 <3.Fiducial

Camera Scale>按钮。

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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide

 <1. Fid. Scale Mark Position> 按钮

设置处于ANC顶面的Fiducial Mark的位置。

下面是使用基准摄像机对ANC上面Fiducial Mark进行Teaching的过程。

1. 点击<1. Fid. Scale Mark Position>按钮出现如下的画面时，请点击<示教>领

域的 <Move>按钮。这时，基准相机会移动到相应的位置。

2. 请正确示教ANC上面的Reference Fiducial Mark的位置。(Fiducial Mark Size

为2.5 mm)

3. 正确示教Fiducial Mark的位置后，点击 <Update>按钮会适用变更值。

 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮

为校正基准相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)没有预先需要执行的校正。

下面是基准相机的校正步骤

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Machine Calibration

1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮。

2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “Fid-Cam will Move to

the specific Fiducial Mark’s position on ANC. Click [Next] to Move.”消息。然

后，为了将基准摄像机移动到ANC的Fiducial Mark位置，请点击<Next>按

钮。