DECAN_S1_Admin(Chi_Ver1.1) - 第404页
14-44 Next Generation, Multi-Function al Placer DECAN S1 Administrator’s G uide 4. 将显示 “Set Calibration T ool into hole 1 of ANC1” 信息。 在 ANC 1 的 1 号孔上安装 CNT20 喷嘴后， 点击 < 确认 > 按钮。 5. 选择 <Automatic Next> 校验盒后 , …
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Machine Calibration
14.3.8.1. Fix Camera Calibration (Scale & Rotation & Position)
针对Fix1 Camera的Scale(um/pixel)、Rotation(deg)及Position(mm)实行校准
(Calibration)。为了校准Fix Camera，需要使用另行制作的Fiducial Mark治具(CNT20
Nozzle)。
下面是 Fix Camera 的校正步骤。
1. 点击<Nozzle Prepare> 按钮。
2. 点击<确认> 按钮。
3. 为了消除所有喷嘴手动低下头于Z轴<Next>按钮，连接到头部。
那么，Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有的 Z轴。此时，请手动
除去所有已贴装的吸嘴。
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
4. 将显示“Set Calibration Tool into hole 1 of ANC1”信息。在ANC1的1号孔上安装
CNT20喷嘴后，点击<确认>按钮。
5. 选择<Automatic Next> 校验盒后, 点击<5. Fix1 Cam.> 按钮。
6. 自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果值。如果需要适
用Calibration值，则点击<Update>按钮。
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Machine Calibration
测量结果可在Camera setting对话框中确认。
备 注 Fix Camera的校准基准值如下。(FOV 45mm (MEGA))
Scale X : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
Scale Y : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
Scale R : -1 ~ 1 (Deg)