DECAN_S1_Admin(Chi_Ver1.1) - 第428页
14-68 Next Generation, Multi-Function al Placer DECAN S1 Administrator’s G uide 结果值在 System Setup 菜单的 Camera 对话框中可以确认。 备 注 Fly Camera 的校正基准值如下。 Fly Camera FOV 20.3mm(MEGA) (μm/pixel) Scale X: 19.22 ~ 20.18 Scale Y : 19…

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Machine Calibration
4. 对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。点击 <Update>按钮。

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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
备 注 Fly Camera的校正基准值如下。
Fly Camera FOV 20.3mm(MEGA) (μm/pixel)
Scale X: 19.22 ~ 20.18
Scale Y: 19.22 ~ 20.18

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Machine Calibration
14.3.8.8. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle中心间的差距。执行Fly Camera Offset Calibration之
前,需先确认ANC 1号孔中是否已安装CNT20喷嘴。
使用Head的Reference Fiducial Mark时,同时执行Reference Fiducial Offset 校正。
是否使用Head的Reference Fiducial Mark,在System Setup菜单的Camera对话框中进
行设置。Default值为’Use’。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 未安装CNT20喷嘴时,点击<Nozzle Prepare>按钮后,请在ANC 1号孔中手动插
入CNT20喷嘴。
2. 选择<Automatic Next(自动下一步)> 校验框后,点击<14. Fly Camera Offset> 按
钮,则对选择的Gantry自动执行校正。
3. 校正首先识别Head的Reference Fiducial Mark测量飞行相机的R Off
set。之后用
飞
行相机识别校正 Tool底面的Fiducial Mark 2点测量飞行相机的Scale值。