RX-6_机器控制参数 - 第116页
机器控制参数 2- 109 2-4-1 4 OCC 坏板标记 设定项目 2-4- 14 - 1 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 对比度图案 0 19 2 最大值 3 最小值
机器控制参数
2-108
2-4-13
MNVC FCS控制参数
设定项目
2-4-13-1
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 数据有效／无效 0 1 0：无效
1：有效（默认）
※
2 标记形状 0：圆
3 极性 0：正转
1：反转
4 标记尺寸 0.1µm 默认：40000
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
机器控制参数
2-109
2-4-14
OCC坏板标记
设定项目
2-4-14-1
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 对比度图案 0 19
2 最大值
3 最小值
机器控制参数
2-110
2-4-15
数字放大
设定项目
2-4-15-1
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 对象 0 1 0：L-OCC
1：R-OCC
2 数据有效／无效 0 1 0：无效
1：有效（默认）
※
3 控制表 表号 0 3
4 倍率 0 3 0：未设定
1：等倍
2：2倍
3：4倍
5 应用最大长边尺寸
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。