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MODEL GXH-1S 0701-002 209 Fig. BM 架台下 XY サーボ電源部 A UNDERFRAME XY SERVO POWER SUPPL Y SECTION A
MEMO
MODEL GXH-1S
0701-002
209
Fig. BM
架台下
XY
サーボ電源部
A UNDERFRAME XY SERVO
POWER SUPPLY SECTION
A
MODEL GXH-1S
0701-002
210
161
171
172
181
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180
181
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180
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170
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170
158
173
架台下
XY
サーボ電源部
A UNDERFRAME XY SERVO
POWER SUPPLY SECTION
A
Fig. BM-2 200V
電源１
200V Power Supply 1