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MODEL GXH-1S 0701-002 219 Fig. BP 架台下 XY サーボ電源部 C UNDERFRAME XY SERVO POWER SUPPL Y SECTION C
MEMO
MODEL GXH-1S
0701-002
219
Fig. BP
架台下
XY
サーボ電源部
C UNDERFRAME XY SERVO
POWER SUPPLY SECTION C
MODEL GXH-1S
0701-002
220
162
171
181
.
180
181
.
180
181
.
180
182
182
185
184
183
153
152
168
165
170
161
172
159
158
167
166
157
170
170
182
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184
183
185
184
183
164
151
163
170
170
169
170
170
185
184
183
161
173
架台下
XY
サーボ電源部
C UNDERFRAME XY SERVO
POWER SUPPLY SECTION C
Fig. BP-2
200V
電源３
200V Power Supply 3