NPM-D3A说明书 - 第167页
NPM-D3A 2021.0219 - 161 - ■ 调整螺栓的配置图 ( 单位 : mm) 223 A IR 0.5 MPa ~ 0.8 MPa 传送带基准面 电源 825 1359.5 673.5 2 575 421 1 290 444 420 660 820 80 80 139 前 侧
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(
単位
: mm)
■ 托盘供料器连接时(含堆叠杆状供料器）
※ 为了取出和设置供料器，需要以下空间。
・从尾端顺序取出或设置的情况，如上图所示，需要
400 mm
的空间。
・若要从两侧都邻接供料器的位置取出中间的供料器，需要供料器全长的距离，因此需要最多
1 600mm
的空间。
400
1814
3556
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
223
A
IR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
传送带基准面
电源
825
1359.5 673.5
2 575
421 1 290 444 420
660
820
80 80
139
前 侧
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■ 传送带的外形尺寸
(N-CONL, N-CONR)
(
单位
: mm)
■ 托盘供料器的外形尺寸
(
单体
)
※1 托盘供料器高度 896 mm，是 NPM-D3A 的基板搬送高度是 900 mm 时的标准值。
可调整范围是: 896 mm。
※2 350 × 480 mm 尺寸的基板中心
基板传送高度
罩外形
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
1 042
900
+70
-20
1 350
686 332 332
450
传送带长度
498
(
从基板中心
※
2
)
基板中心
※
2
+65
-16.5
896
※
1
1 052
985
185
873
828
480