NPM-D3A说明书 - 第168页
NPM-D3A 2021.0219 - 162 - ■ 传送带的外形尺寸 (N-CONL, N-CONR) ( 单位 : mm) ■ 托盘供料器的外形尺寸 ( 单体 ) ※ 1 托盘供料器高度 896 mm ，是 NPM-D3A 的基板搬送高度是 900 mm 时的标准值 。 可调整范围是 : 896 mm 。 ※ 2 350 × 480 mm 尺寸的基板中心 基板传送高度 罩外形 基板传送基准 ( 前侧轨道 ) 基板传送基准 ( 后侧…
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
223
A
IR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
传送带基准面
电源
825
1359.5 673.5
2 575
421 1 290 444 420
660
820
80 80
139
前 侧
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■ 传送带的外形尺寸
(N-CONL, N-CONR)
(
单位
: mm)
■ 托盘供料器的外形尺寸
(
单体
)
※1 托盘供料器高度 896 mm，是 NPM-D3A 的基板搬送高度是 900 mm 时的标准值。
可调整范围是: 896 mm。
※2 350 × 480 mm 尺寸的基板中心
基板传送高度
罩外形
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
1 042
900
+70
-20
1 350
686 332 332
450
传送带长度
498
(
从基板中心
※
2
)
基板中心
※
2
+65
-16.5
896
※
1
1 052
985
185
873
828
480
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安装托盘供料器时，是必须的最小限空间。
在维护作业时有时会卸下托盘供料器，所以设置机器时请必须确保以下的空间。
(
単位
: mm)
安装托盘供料器时，是必须的最小限空间。
在维护作业时有时会卸下托盘供料器，所以设置机器时请必须确保以下的空间。
・将托盘供料器切换为交换台车时的尺寸如下。
※1 4 249 mm
※2 2 205 mm
※3 837 mm
∗∗
Remarks
∗∗
•
交换台车设置范围的地面倾斜，需要台车的左右方向在
6 mm
以内，前后方向在
11 mm
以内。
地面倾斜度超过此范围时，不可搬移交换台车。
前
側
859
678
1711
864 837
516
2 044 2 046
4 090
4 269
※
1
2 044
2 225
※
2
857
※
3
864 837
前 侧
1711