SM321 SERVICE MANUAL - 第137页

Head Module 4-33 3. 分离 Mirror Arm Left Ass’y 时首先利用扳手除去下图所示的 1 号固定螺 丝 (M2-2 个 ) ，然后为了从头部本体分离 Joint (Arm Joint & Mirror Joint) ，利用扳手除去 2 号固定螺丝 (M3-2 个 ) 。最后，分离 Arm Joint 和 Mirror Joint ，利用十字形（ + ）螺 丝刀除去 3 号螺丝。 重新组装 3 号…

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那么, Z轴和Mirror移动到识别位置。
边看’SM321VIS’框，轮视Flying Camera 1号和6号，确认’SM321VIS’框的十
字线和Calibration Tool中心是否一致，调整Mirror Support后，固定螺丝。
7. 完成校正后，为确认是否正常贴装部件，请执行测试。
4.5.4. Swing 部替换次序
Mirror Arm 替换次序
1. 操作示教框执行设备初始化(Homing)。
2. 正常关闭PC后，关闭设备前面的Main Switch。
7
Head Module
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3. 分离Mirror Arm Left Ass’y时首先利用扳手除去下图所示的1号固定螺丝 (M2-2
个)，然后为了从头部本体分离Joint (Arm Joint & Mirror Joint)，利用扳手除去2
号固定螺丝(M3-2个)。最后，分离Arm Joint和Mirror Joint，利用十字形（+）螺
丝刀除去3号螺丝。
重新组装3号螺丝时，利用Force Gage，使测定值为40~ 80 kgf。此时，首先执
行螺丝Loctite。但是，需要以上作业时，建议以程序单位进行替换。
Main Switch关闭方
向(逆时针方向)
1
1
Mirror Screw
3
2
2
Mirror Join
t
Arm Joint
Mirror Arm Left
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4. 请替换并组装需要替换的部件。组装为拆卸的倒序。
5. 使用与Mirror Arm Left Ass’y同样的方法拆卸及组装Mirror Arm Right Ass’y。
Mirror Shaft 替换次序
1. 操作示教框执行设备初始化(Homing)。
1
2
3
Force 测定时测定方向