SM321 SERVICE MANUAL - 第169页
Head Module 4-65 4.10.3.3. Head V acuum Level 检点 为执行头部真空度检查，依次执 行以下过程。 过滤器 / 管道堵塞检 查 在未贴装喷嘴的状态下按各个 Head 打开 Va c u u m （真空装置）使 Va c u u m L e v e l 维 持 200 mmHg 以下。如果 200 mmHg 以上，可能会引起 过滤器 或管道堵塞现象，请参照 “ 4.10.3.5 V acuum…
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1
2
调整可变电阻 Curren
t
Level设置为‘0’
Head Module
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4.10.3.3. Head Vacuum Level 检点
为执行头部真空度检查，依次执行以下过程。
过滤器 / 管道堵塞检查
在未贴装喷嘴的状态下按各个Head打开Va cuu m（真空装置）使Vacuum Level维
持200 mmHg以下。如果200 mmHg以上，可能会引起 过滤器
或管道堵塞现象，请参照 “4.10.3.5 Vacuum/Blow
管道清扫方法
“进行清扫。
实作业真空度检查
各Head贴装CN040喷嘴，打开个别Head Vacuum，使Vacuum Level维持480
(mmHg) 以上。
真空发生器真空度检查
各Head贴装CN040喷嘴，打开个别Head的Vacuum后堵塞喷嘴末端时， Vacuum
Level应达到600 mmHg 以上。
各Head别打开Vacuum，确认是否满足下表的Vacuum Level。
顺序 Head 状态 Vacuum Level (正常状态)
措施方法
1
不使用Nozzle 200 以下 (mmHg)
2
CN040 贴装 480 以上 (mmHg)
3
封闭喷嘴末端 600~700 (mmHg)
Vacuum Sensor Board
Head I/F Board
注 意
使用CN040喷嘴以外的其它喷嘴进行测定时, 显示不同的Vac
uum Level，因此请务必把CN040喷嘴贴装到各HEAD后进行
测定。
4.10.3.4. Blow 检点
Head Blow Air Pressure Gage中得到压力控制后传达到头部 Air程序的Blow Air通过
Blow Air Inlet引入，再通过Manifold传达到各个Blow Solenoid阀。
Vacuum Air个别通过Manifold传达到Vacuum Solenoid阀。
请使用流量调节阀调整Blow 控制。全体Blow Air Pressure用Head Blow Air Pressure
Gage进行调整。
请把各Solenoid阀配戴的流量调节阀按顺时针方向开放到尽头。
Blow 流量调整 : 流量调节阀full-open
Head Blow Air Pressure Gage 值 : 0.1 ± 0.02 Mpa (正常范围)
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各Head贴装CN040喷嘴后打开个别Head Blow，测定值应处于检查基准以内。 (检
查基准: 84 ~ 138 (mmHg))
如果测定值超出检查基准，如下方法设置Blow。
“Vacuum Diagnosis” 对话框中打开所有Head的Blow后，关闭所有Vacuum。
Head Blow Air Pressure
Gage
Blow Air Inle
t
流量调节阀
Vacuum Solenoid 阀
Blow Solenoid 阀