TR7710_Maintenance_ch-v1.0_20141110 - 第30页
Test Resear ch, Inc. 26 TR7710 User Gui de – Mainten ance 5.2 機台外部 5.2.1 機台左右側及 背面風扇 清潔 關閉電源，使用氣槍或 刷子清潔機台左右側三組 風扇及背面四組風 扇。 圖 31 : 機台左右側風扇清 潔
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圖 29: XY 移動平台清潔
5.1.4 光學尺清潔
光學尺位於軌道附近，請確認光學尺是否保持清潔。如有髒汙，請用乾淨、不會殘留棉絮的軟
布，沾取酒精後，沿單一方向輕輕擦拭光學尺即可。如下圖為下圖為 X 滑軌示意圖，光學尺
黏貼於 X 滑軌下方。
注意：請勿以防鏽油、清潔劑擦拭。
圖 30: 光學尺清潔
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5.2 機台外部
5.2.1 機台左右側及背面風扇清潔
關閉電源，使用氣槍或刷子清潔機台左右側三組風扇及背面四組風扇。
圖 31: 機台左右側風扇清潔
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圖 32: 機台背面風扇清潔
5.2.2 LCD 螢幕清潔
關閉電源，使用 LCD 螢幕專用清潔布進行清潔作業，避免直接傷害 LCD面板。