TR7710_Maintenance_ch-v1.0_20141110 - 第36页
Test Resear ch, Inc. 32 TR7710 User Gui de – Mainten ance 圖 40 : 注油孔位置 範例 – Y 軸
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TR7710 User Guide – Maintenance 31
圖 36: XY 移動平台保養工具 – Yamada CH-100A 加油槍
圖 37: XY 移動平台保養工具 – 潤滑油
圖 38: XY 移動平台保養工具 – 小型油嘴專用注油軟管
圖 39: XY 移動平台保養工具 – 大型油嘴專用注油軟管
在機台關閉電源的狀況下，將 X、Y 軸上的油汙清除。用乾淨軟布將滑軌上舊油擦拭乾淨，接
續在各注油口（每個軌道共有兩個注油孔）注入適當量的軌道潤滑專用油。並用手推 XY移動
平台，讓滑塊在全行程內滑動 2 至 3次，使軌道上塗佈一層油膜防銹。滑塊行程無法到達的
地方，請用乾淨的軟布塗上一層軌道潤滑專用油防銹即可。如下圖為右側 Y 軸右側軌道上的
油嘴位置。
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圖 40: 注油孔位置範例 – Y 軸
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TR7710 User Guide – Maintenance 33
7 年度保養
年度保養作業需對光學系統進行調整確認，此作業需經 TRI 訓練合格之工程人員依光學校驗
程序執行，不於此保養說明詳述，請洽 TRI 各據點工程人員。此外，機台移動可能會造成系
統誤差，若移機後，請洽 TRI 進行光學校正。