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Rev.1.00 安装要领书 14-3. TR-6SN 和 TR-6DN TR-6SN 、 TR-6DN 的安装图下图所示的位置进行安装。 前后方向应根据能让基板能顺畅地通过传送基准轨道侧进行设置。 图 14-3-1 TR-6DN 的安装外观 36

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安装要领书
14-2. TR-4SN
TR-4SN 的安装按照下图的位置关系进行安装。
图 14-2-1 TR-4SN 安装外观
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安装要领书
14-3. TR-6SN和TR-6DN
TR-6SN、TR-6DN 的安装图下图所示的位置进行安装。
前后方向应根据能让基板能顺畅地通过传送基准轨道侧进行设置。
图 14-3-1 TR-6DN 的安装外观
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安装要领书
14-4. TR-5SN、TR-5DN
TR-5SN、TR-5DN 按照右图所示的位置进行安装。
图 14-4-1 TR-5SN 安装外观图
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