RL132维修手册 - 第115页
RL132 维修手册 5.1 插件头 DA9MCC-Y1-M00-A 0 5.1-2
RL132
维修手册
5.1 插件头
DA9MCC-Y1-M00-A0
5.1-1
5.1. 插件头
DA9MCC-Y1-M00-A0
5.1.1 插件头(θH 轴)
装置编号：
N610129089AA
编号 名称 型号
1.
θH 轴原点
EE-SX672A
1.
RL132
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5.1 插件头
DA9MCC-Y1-M00-A0
5.1-2
RL132
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5.2 搬送导轨
DA9MCC-Y3-000-A0
5.2-1
5.2. 搬送导轨
DA9MCC-Y3-000-A0
5.2.1 搬送导轨
装置编号：
N610128952AA / N610128953AA
编号 名称 型号
1.
基板存在检测
P919T
2.
基板存在检测
P919T
3.
轨道上下气缸返回检测
D-C73
4.
轨道上下气缸前进检测
D-C73
5.
基板位置异常检测
P919T
1.
2.
3.
4.
5.
1.
2.
3.
4.