RL132维修手册 - 第118页

RL132 维修手册 5.3 作业部搬送方面 DA9MCC-Y3-200-A0 5.3-1 5.3. 作业部搬送方面 DA9MCC-Y3-200-A0 5.3.1 基板搬送部 装置编号： N610128994AA 编号 名称 型号 1. 搬送臂向前检测 P914S1 2. 搬送臂向前减速检测 P914S1 3. 搬送臂返回检测 P914S1 4. 定位气缸返回检测 D-A73 5. 定位气缸前进检测 D-A73 1. 3. 2. 4. …

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5.2 搬送导轨
DA9MCC-Y3-000-A0
5.2-2
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5.3 作业部搬送方面
DA9MCC-Y3-200-A0
5.3-1
5.3. 作业部搬送方面
DA9MCC-Y3-200-A0
5.3.1 基板搬送部
装置编号：
N610128994AA
编号 名称 型号
1.
搬送臂向前检测
P914S1
2.
搬送臂向前减速检测
P914S1
3.
搬送臂返回检测
P914S1
4.
定位气缸返回检测
D-A73
5.
定位气缸前进检测
D-A73
1.
3.
2.
4.
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5.3 作业部搬送方面
DA9MCC-Y3-200-A0
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