RL132维修手册 - 第120页

RL132 维修手册 5.4 基板定位部 DA9MCC-Y3-400-A0 5.4-1 5.4. 基板定位部 DA9MCC-Y3-400-A0 5.4.1 定位器 ( 基准销 ) 装置编号： N610129964AA 编号 名称 型号 1. 基板定位完成检测 P921S1 2. 基板存在检测 P921SA1 1. 2.

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5.3 作业部搬送方面
DA9MCC-Y3-200-A0
5.3-2
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5.4 基板定位部
DA9MCC-Y3-400-A0
5.4-1
5.4. 基板定位部
DA9MCC-Y3-400-A0
5.4.1 定位器 (基准销)
装置编号：
N610129964AA
编号 名称 型号
1.
基板定位完成检测
P921S1
2.
基板存在检测
P921SA1
1.
2.
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5.4 基板定位部
DA9MCC-Y3-400-A0
5.4-2