RL132维修手册 - 第147页
RL132 维修手册 7.3 基板搬送部 DA9MCC-Z4-000-A0 7.3-2 7.3.2 定位器 装置编号 N610061375AA 检查 周期 No. 项目 作业 详细内容 每周 a. 基准销 无磨损、损伤。 加油 周期 No. 项目 作业 加油量 详细内容 1. 轴旋转部 1 至 2 滴 3 个月 2. 轴滑动部 適量 用含有机油的抹布擦拭 2. 轴滑动部 1. 轴旋转部 a. 基准销
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-1
7.3. 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3.1 X-Y 工作台
装置编号
N610055746AA
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
滚珠丝杠 (X)
每月
2.
滚珠丝杠 (Y)
每个
3 cm
3
位置: 螺纹
3.
LM 导轨 (X)
每个
2 cm
3
3 个月
4.
LM 导轨 (Y)
每个
2 cm
3
位置: 轨道表面
2. 滚珠丝杠 (Y)
1. 滚珠丝杠 (X)
3. LM 导轨 (X)
4. LM 导轨 (Y)
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-2
7.3.2 定位器
装置编号
N610061375AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
每周
a.
基准销
无磨损、损伤。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
轴旋转部 1 至 2 滴
3 个月
2.
轴滑动部
適量 用含有机油的抹布擦拭
2. 轴滑动部
1. 轴旋转部
a. 基准销
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-3
7.3.3 轨道自动宽度调整装置部(选购件)
Unit No. N610130241AA
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
3 个月
1.
LM 导轨
0.25 cm
3
1. LM 导轨