RL132维修手册 - 第149页
RL132 维修手册 7.3 基板搬送部 DA9MCC-Z4-000-A0 7.3-4 7.3.4 销自动宽度调整装置部(选购件) Unit No. N610054629 AA Oiling 周期 No. 项目 作业 加油量 详细内容 1. 滚珠丝杠 1 cm 3 位置 : 螺纹 3 个月 2. LM 导轨 0.5 cm 3 位置 : 轨道表面 1. 滚珠丝杠 2. LM 导轨
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-3
7.3.3 轨道自动宽度调整装置部(选购件)
Unit No. N610130241AA
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
3 个月
1.
LM 导轨
0.25 cm
3
1. LM 导轨
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-4
7.3.4 销自动宽度调整装置部(选购件)
Unit No. N610054629AA
Oiling
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
滚珠丝杠
1 cm
3
位置: 螺纹
3 个月
2.
LM 导轨
0.5 cm
3
位置: 轨道表面
1. 滚珠丝杠
2. LM 导轨
RL132
维修手册
7.3 基板搬送部
DA9MCC-Z4-000-A0
7.3-5
7.3.5 大型基板应对装置部(选购件)
Unit No. N610116841AA
Oiling
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
滚珠丝杠
0.5 cm
3
位置: 螺纹
3 个月
2.
LM 导轨
每个
0.3 cm
3
位置: 轨道表面
1. 滚珠丝杠 2. LM 导轨