RL132维修手册 - 第62页
RL132 维修手册 3.1 安装概要 DA9MCC-11-010-A0 3.1-5 3.1.7 连接气源 将主气管连接到机器上。 应确保主气源压力大于 0.5 MPa 和流量 大于 80 L/min (A.N.R) 。 = 注意 = 主气源应无诸如水分之类的杂质。 在连接好管路之后，供给主压缩空气 ，并利用调压单元将气压调到 0.5 MPa 。 3.1.8 与其他设备的连接 与其他设备或者基板搬送装置连接时 ，需要用盖子盖住搬送轨道。…
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3.1 安装概要
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3.1-4
3.1.5 固定金属件 (红色) 的拆卸
本机在搬运时，用固定金属件 (红色) 分别将 X-Y 工作台、Z 轴部分和 Z 轴罩盖部分固定住，使其不发生晃动。
启用机器时，请将下图所示的固定金属件全部拆卸掉。
请妥善保管卸掉的固定金属件。
1.
1. X-Y 工作台
3.1.6 噪声测量
下图所示为在本机各点测定的噪声数据。
噪声测量点
=注意=
产品编号. NM-EJR5A , ↔ : 箭头的尺寸各为 1m
噪声数据
位置 A B C D E F G H I J K L M N O P
测量值
(dB(A))
70.3 70.6 71.6 72.1 72.9 73.1 73.8 73.7 74.8 74.0 73.5 73.0 72.0 71.8 71.6 70.6
暗噪声: 31.8 dB (A)
（侧视）
G
IJH
N
L
M
K
D
F
E
APB
O
C
（顶视）
型号: N210084127AA (1 个)
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3.1-5
3.1.7 连接气源
将主气管连接到机器上。
应确保主气源压力大于 0.5 MPa 和流量大于 80 L/min (A.N.R)。
=注意=
主气源应无诸如水分之类的杂质。
在连接好管路之后，供给主压缩空气，并利用调压单元将气压调到 0.5 MPa。
3.1.8 与其他设备的连接
与其他设备或者基板搬送装置连接时，需要用盖子盖住搬送轨道。因为由于搬出的基板以及轨道的上下动作，
手等部位有负伤的可能性。
基板
搬送轨道
[例]
其他设备的搬送轨道的盖
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3.1-6