KE-3010A_20VA_20VRA使用说明书 - 第387页
第 1 部 基 本篇 第 3 章 维护 3-46 3) 从真空泵拆下气管、成捆电线（电源线） ，卸下固定 VA C _ P U M P _ S TAY 的六角头铰制孔用螺栓 (M6 ： 13mm 扳手 ) 及六角螺母。 4 ）将真空泵从主机里取出。 ※取出时请注意成捆的电线。 ※取出真空泵时，请勿把持连接管。 ※取出真空泵时，有真空泵的橡胶脚和 V ACUUM_PUMP_BR 粘着的情况。 连接管 电源 VACUUM _ PUMP _ …
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
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考虑以下部件的损耗造成压力降低。
<损耗部件一览> 更换部件组货号：40138045
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
碗形密封垫圈 2 有无异常磨耗、硬化、龟裂等现象 目视
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
O 环 P-10 4 有无变形、磨耗、硬化、龟裂等 目视
密封圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目视
●
更换真空泵准备
<
M、L、L-Wide 规格>
※
如果是电动台架规格，请按照前一项的「切带单元的更换」，拆下切带单元。
1)确认真空泵没有运转。（刚停止运转后会很热，请停止后放置 30 分钟左右，确认泵冷却之后再开始作业。）
2)请拆下机器本体前侧右下部的护罩。
・
检查 更换
3-8-2 真空泵零件的更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换周期 ：1 年
护罩（螺钉×4）
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
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3)从真空泵拆下气管、成捆电线（电源线），卸下固定 VAC_PUMP_STAY 的六角头铰制孔用螺栓
(M6：13mm 扳手)及六角螺母。
4）将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意成捆的电线。
※取出真空泵时，请勿把持连接管。
※取出真空泵时，有真空泵的橡胶脚和 VACUUM_PUMP_BR 粘着的情况。
连接管
电源
VACUUM
_
PUMP
_
STAY
VACUUM
_
PUMP
_
BR
气管
六角头铰制孔用螺栓 x2
六角螺母×2
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密封圈的更换
1） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M6×95)。
2） 取下泵头盖内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※请确认密封圈完全放入泵头盖的密封垫圈槽内。
3） 请将固定泵头盖用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。
※要更换其它消耗部件时，请不要关闭盖（罩），参照各部位的更换步骤操作。
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更换 O 环 P-10
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头盖和连接管。
2） O 环 P-10 安装到位于连接泵头盖之间的连接管。
3） 更换中，请注意插入连接管时不要造成 O 环划伤。（1 根管内有 2 个）
※更换前，请清扫连接管的 O 环沟、泵头的连接管安装孔。盖（罩）的安装，请按照密封圈的更换
顺序进行。要更换其它消耗部件时，请不要关闭盖（罩），参照各部位的更换步骤操作。
O 环 P-10
连接管
密封圈
内六角螺栓(M6×95)
泵头盖内侧 泵头盖