KE-3010A_20VA_20VRA使用说明书 - 第394页
第 1 部 基 本篇 第 3 章 维护 3-53 (2) 管道系统图（ Head ） 第 7 排 第 １ 排 过滤器 吸嘴 压力 传感器 V：从负压（φ8）真空泵 V：从负压（φ8）真空泵 P：从正压（φ8）真空泵 大气开放 气缸 气缸 气缸 检查阀 P：从正压（φ6）空气单元
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-52
b-负压 <M、L、L-Wide 基板规格>
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ
真空ポン
ｴﾙﾎﾞ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰ ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰ
Yﾌﾟﾗﾚｰﾙ Yﾌﾟﾗﾚｰﾙ
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ
ｴﾙﾎﾞ
L側 HEAD R側
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ出口 Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ出口
ｴﾙﾎﾞ
ｴﾙﾎﾞ
チェックバル
サイレンサ
レデューサ
レデューサ
ハーフユニオン
負圧計
電磁弁
フィルタ
CAL
ユニオンワ
ユニオンワ
ユニオンワ
ｴﾙﾎﾞ
プラグ
弯头
减压器
X Plarail 出口
弯头
Y 形三通接头
真空泵
Y 形三通接头
Y 形三通接头
弯头
减压器
插头
弯头
弯头
直通接头
直通接头
直通接头
负压计
过滤器
电磁阀
检查阀
直通接头
左侧 HEAD 右侧
消音器
Y Plarail
X Plarail
X Plarail
Y Plarail
X Plarail 出口
活接头
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-53
(2) 管道系统图（Head）
第
7
排
第
１
排
过滤器
吸嘴
压力
传感器
V：从负压（φ8）真空泵 V：从负压（φ8）真空泵
P：从正压（φ8）真空泵
大气开放
气缸 气缸
气缸
检查阀
P：从正压（φ6）空气单元
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-54
(3) 管道系统图（统一更换台）
No.
货号 品名
①
PA630750300 AIR CYLINDER
②
PC015203000 SPEED CONTROLLER
③
PV0151170A0 SELECTOR
④
PX055104000 SILENCER
⑤
PV010505000 MECHANICAL VALVE
⑥
PX050501000 SILENCER
⑦
40094346 CHECK_VALVE
⑧
40094347 CYLINDER CM2B40-75
<电动更换台专用规格>
前侧
后侧
通向歧管
台架支撑气缸
台架支撑气缸
台架气缸
台架气缸
台架
SW
台架支撑气缸 台架支撑气缸
台架气缸
台架气缸
台架
SW