KE-3010A_20VA_20VRA使用说明书 - 第861页

第2部 功能详解篇 第8章 机器设置 8-82 8-5-4 单元 1 可对指定的 Head 单元的真空、吹气、 OCC 、 BMR 、 HMS 、锁定罩盖、 AT C 、传送控制, 进行控制。 ※ 从「 Head 的吸嘴有无状况 」 启动简易控制画面后, 只能控制 AT C /传送控制: 滑板的开关项目。 (1) OCC 执行垂直照明、角度照明、外圈照明、校准台照明的开关控制。 可转换正、负极性。 (2) BMR 、 HMS 可执行 H…

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第2部 功能详解篇 第8章 机器设置
8-81
8-5-3 移至任意坐标的操作
(1) 移动 XYZ
选择要控制的轴的种类[XY 轴控制][Z 轴控制],按下「执按钮,即可把轴移至任意的指
定坐标位置。
(2) 速度
选择要控制的轴的种类 [XY 轴控制][Z 轴控制][θ 轴控制],按 [执行]按钮,即可按指定的
速度移动轴。
(3) θ 旋转
轴的种类选中[θ 轴控制],按下[执行]按钮后,θ 轴即可按指定的角度进行旋转。
第2部 功能详解篇 第8章 机器设置
8-82
8-5-4 单元 1
可对指定的Head单元的真空、吹气、 OCC BMR HMS、锁定罩盖、 ATC、传送控制,
进行控制。
从「Head 的吸嘴有无状况启动简易控制画面后,只能控制 ATC/传送控制:滑板的开关项目。
(1) OCC
执行垂直照明、角度照明、外圈照明、校准台照明的开关控制。
可转换正、负极性。
(2) BMRHMS
可执行 HMSBMR 的传感器开关控制。
(3) 锁定罩盖
可执行前/后的 「锁定罩盖 ON/OFF
(4) ATC / 传送控制
可执行 ATC 滑板的[/]、停止挡销的[/]、支撑台的[/]控制。
选择[传送控制]按钮时,即显示基板传送主画面。
第2部 功能详解篇 第8章 机器设置
8-83
8-5-5 单元 2
可进行MTS托盘控制。
(1) 托盘段数
指定控制托盘的层数。
(2) 速度
指定托盘拉出时的速度。
(3) 取出
拉出托盘。
(4) 存储
执行托盘存储。
(5) /
如托盘处于已取出的状态下,执行托盘存储。
如托盘处于已存储的状态下,则执行托盘取出。