KE-3010A_20VA_20VRA使用说明书 - 第893页

第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9-31 9-5-1-1 控制对象:基板传送 按下 [ 基板传送 ] 按钮,会显示如下画面。 (1) 状态 显示传送马达 / 传感器的 ON 、 OFF 状态。 (2) 控制项目 点击 [ 执行 (E)] 按钮,或按下 [F3] 键后,开始执行控制处理。 1) 初始化 将基板传送进行初始化。 2) 基板搬入 按定位方式指定的方式搬入基板。 3) 基板搬出 搬出基板。 4) 基板固定解除 释放…

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2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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其他传感器的显示列表如下。
No.
显示项目 显示图 表示内容
1
支撑台挡块(CE )
支撑台挡块处于 OFF 状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
2
支撑台原点传感器
支撑台处于 OFF 状态。
支撑台处于 ON 状态。
3
传送挡块干涉传感器
传送挡块干涉传感器处于 OFF 状态。
传送挡块干涉传感器处于 ON 状态。
4
准备输入(Ready In
准备输出Ready Out
准备输入(Ready In )处于 OFF 状态。
准备输出(Ready Out )处于 ON 状态。
5
能搬入基板
Board Available In
能搬出基板
Board Available Out
Board Available In·OUT 处于 OFF 状态。
Board Available In·OUT 处于 ON 状态。
6
停止挡销
停止挡销处于 OFF 状态。
停止挡销处于 ON 状态。
2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-31
9-5-1-1 控制对象:基板传送
按下[基板传送]按钮,会显示如下画面。
(1) 状态
显示传送马达/传感器的 ONOFF 状态。
(2) 控制项目
点击[执行(E)]按钮,或按下[F3]键后,开始执行控制处理。
1)初始化
将基板传送进行初始化。
2)基板搬入
按定位方式指定的方式搬入基板。
3)基板搬出
搬出基板。
4)基板固定解除
释放基板。
5)基板重夹
用在定位方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
(3) 定位方式
通过单选按钮选择定位方式。
控制项目中的「初始化
「基板搬出「基板固定解除被选中时,将无法设置此项。
(4) 执行
开始控制。
2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-32
9-5-1-2 控制对象:自动调整基板宽度
按下[自动调整基板宽度]按钮,会显示如下画面。
若机器设置的[使用单元]未勾选「自动调整基板宽度」,在 M 基板/L 基板/L-Wide 基板规格时不被
显示。
(1) 状态
显示各传感器、基板传送宽度的状态。
(2) 控制项目
点击[执行(E)]按钮,或按下[F3]键后,开始执行控制处理。
1)返回原点
自动调整基板宽度恢复原点。
2)变更幅度
变更传送宽度。
3)传感器调谐(仅 XL 基板规格)
调整传送传感器。
(3) 执行
开始控制。