TR7700QE_Software_ch-v3.0_20180328 - 第94页
Test Research, Inc. TR7700Q E User Gu ide – S o f twar e 71 3.4 檢測框的比對 方式 TRAOI 的檢測框測試方 式，主要分為幾何學特 徵比對、標準化相 關性比對、明暗 / 色彩分布比對 三種，說明如下。 1. 幾何學特徵比對 ： 選擇一個正常的元件影 像作為比對樣本， 調整權重與門檻值 後擷取其特徵輪 廓，然後將待測 元件影像與其樣本特徵 輪廓進行比對，檢 測是否達到設定值…
Test Research, Inc.
TR7700QE User Guide–Software 70
圖 110：使用自動範圍 S/M/L 的灰階影像差異
門檻：選擇設定門檻的方式。
極限：設定高度範圍的上下限。
範圍：在設定完極限的範圍內設定轉換為灰階影像的實際高度範圍，在範圍外的
將不進行轉換(呈現黑色)。一般而已，範圍設定越大，其灰階值差異會縮小，而範
圍越小則相對灰階值對比會增加。
高度灰度比值：顯示轉換後一個灰階值所代表的高度(μm)。轉換的計算方式為(範
圍上限-範圍下限)/灰階範圍。以 HeightMap 法調整參數圖為範例來說，高度灰度
比值 = [(574-(-65)]/256=2.50。
門檻：在設定的實際轉換影像範圍內，設定區分亮區與暗區的門檻值。
備註：當實際轉換範圍太大時， 轉換出的灰階影像對比會太弱。因此，請盡量將實際
轉換範圍縮小至包含有高度分布的區域內(依高度直方圖來判斷)，可得到最大的對比效
果。
Test Research, Inc.
TR7700QE User Guide–Software 71
3.4 檢測框的比對方式
TRAOI 的檢測框測試方式，主要分為幾何學特徵比對、標準化相關性比對、明暗/色彩分布比對
三種，說明如下。
1.
幾何學特徵比對：
選擇一個正常的元件影像作為比對樣本，調整權重與門檻值後擷取其特徵輪廓，然後將待測
元件影像與其樣本特徵輪廓進行比對，檢測是否達到設定值。利用這個原理進行檢測的框例
如[PatMatch]、[Void]的 Sim 模式、[Contour]……等框。
2.
標準化相關性比對：
選擇一個正常的元件影像作為比對樣本，調整權重與門檻值後將待測元件影像與其樣本進行
逐步的畫素(Pixel)灰階值比對，檢測是否達到設定值。利用這個原理進行檢測的框例如
[CorMatch]、[OCV]、[OCR]……等框。
3.
明暗/色彩分布比對：
計算檢測框內明暗/色彩分布的比例是否達到設定值。利用這個原理進行檢測的框例如[Void]
的 Ratio 模式、[Bridge]……等框。
Test Research, Inc.
TR7700QE User Guide–Software 72
3.5 影像編輯區
對於需要進行幾何學特徵比對與標準化相關性比對的檢測框，使用者需利用此區加入代料影像，
來作為檢測的圖形比對標準。
圖 111：影像編輯區 – 代料影像功能說明
代料影像
新增代料影像：將原圖中檢測框的影像加入到代料影像區。
刪除代料影像：將已選擇的代料影像從代料影像區移除。
編輯遮罩：對代料影像進行遮罩功能，以增加檢測的穩定性(僅能在權重法下使用)。點選
後會跳出遮罩視窗，如下圖所示。
圖 112：遮罩功能設定介面視窗
新增代料影像
刪除代料影像
增加/減少所需
的色彩空間數量
預檢代料
顯示原始影像
檢視特徵
顯示處理後影像
編輯遮罩
重新命名
套用參數到不同
群組
代料影像檢視器
加入的代料影像