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1 - 17 S tudent Guide SIPLACE HF/HF3 Ausgabe 09/2005 10 SITES T 17 Maschinennullpunkt 10 – Der Mittelpunkt de s LP-Kamera wird für das Po rt al als Referenzpunkt benutzt. Alle Positionen der X-/Y -Achse bezieh en sich au…

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Student Guide SIPLACE HF/HF3
10 SITEST Ausgabe 09/2005
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10.2.3.2 Twin Head
Abb. 10.2 - 5 Ablauf der Twin Head Kalibrierung
Ablauf der Kalibrierung desTwin Heads
Maschinennullpunkt
Kalibrierteilposition
LP-Kamera
y Kamera-Koeffizient (Abbildungsmaßstab in nm/pixel)
y Kalibrierung des LP-Kamera-Mittelpunktes
y Kalibrierung der Verdrehung der LP-Kamera zum
Maschinen-Koordinatensystem
Verfahrweg X-/Y-Achse
y Kalibrierung der min/max Verfahrwege der Portale
Twin head Höhe
y Kalibrierung der Höhe von Segment 1 und Segment 2
(Die Referenz ist die Oberkante des LP-Transports)
Twin Head IC-Kamera
y Fokusebene
y Kamera-Koeffizient (Einheit -nm/pixel), Winkel
y IC Kamera Position
Twin Head Pipettenwechsler
y Kalibrierung der Abholpositionen für alle Magazine
y Kalibrierung der Abholhöhe
y Kalibrierung der Abwurfposition
Twin Head
y Offset Segment 1 (LP-Kamera zu Segment 1)
y Offset Segment 2 (LP-Kamera zu Segment 2)
y IC Kamera Positionsmarke
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Maschinennullpunkt 10
Der Mittelpunkt des LP-Kamera wird für das Portal als Referenzpunkt benutzt. Alle Positionen
der X-/Y-Achse beziehen sich auf diesen Kameramittelpunkt.
Als Referenzpunkt für den Maschinennullpunkt dient eine Bohrung neben der Kalibrierteil-Ablage.
Sobald sich die LP-Kamera über dem Mittelpunkt dieser Bohrung befindet, wird die Portalpo-
sition exakt auf diese Werte gesetzt:
MA nullpunkt_x_PG1 631300 / MA nullpunkt_y_PG1 1298000. (PG bedeutet gantry group)
MA nullpunkt_x_PG2 1368700 / MA nullpunkt_y_PG2 702000
LP-Kamera: 10
Die Pixelgröße des CCD-Sensors wird bestimmt (in µm)
Die Berechnung erfolgt unter Einbeziehung der Ax/Bx/Ay/By Kalibrierwerte. Die Daten werden
gesichert unter:
KAM_DAT.MA as:XU_Pixel / YU_Pixel
Die Pixelgröße ist:
ca. 11600 nm bei der Standard-LP-Kamera SST 5,
ca. 9900 nm bei LP-Kamera Multicolor SST 18.
Der Kameramittelpunkt wird bestimmt.
Dieser Kameramittelpunkt ist nun der Referenzpunkt für alle Offsets und Portalpositionen!!
Der Verdrehwinkel des CCD-Sensors in der LP-Kamera gegenüber dem Maschinenkoordina-
tensystem. Der Wert wird als
Kamera_winkel im Datenblock der LP-Kamera in KAMDAT.MA
gesichert.
Kalibrierteilposition (optional): 10
Kalibrierung der X- und Y-Abholposition des Kalibrierteils.
Verfahrweg (optional): 10
Das Portal verfährt zum Nullimpuls zur Kalibrierung des Verfahrweges, anschliessend zum
HW-Endschalter. Dort wird der Positionstand des Portals aufgenommen.
Der Software-Endschalter (Y +/- 1.5 mm , X +/- 0,5 mm) wird berechnet.
65mm
We nde punk t für Re fe re nzla uf
Geschwindigkeitsüberwachung
HW-Endsc ha lter
Y-Ac hse
45mm
X-Ac hse
Geschwindigkeitsüberwachung
HW-Endsc ha lter
HW- Endsc ha lter
Geschwindigkeitsüberwachung
We nde punk t für Re fe re nzla uf
Geschwindigkeitsüberwachung
HW- Endsc ha lter
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BE-Kamera: 10
Die Berechnung erfolgt unter Einbeziehung der Ax/Bx/Cx/Ay/By/Cy Kalibrierwerte. Die Daten
werden gesichert unter:
KAM_DAT.MA as:XU_Pixel / YU_Pixel
Die Pixelgröße ist:
ca. 150000 nm bei BE-camera SST 12 (für 12er Kopf)
ca. 81000 nm bei BE-camera SST 13 (für 6er Kopf)
ca. 27500 nm bei DCA-Kamera SST14
the camera center is determined.
Der Verdrehwinkel des CCD-Sensors in der LP-Kamera gegenüber der Drehebene des Sterns
wird ermittelt. Der Wert wird als
Kamera_winkel im Datenblock der BE-Kamera in KAMDAT.MA
gesichert.
Ablauf für Segment-Offset unten (II):
Ablauf für ein Segment
das Kalibrierteil wird mit der Pipette unter 0° abgeholt, optisch zentriert und bestückt. Mit der
LP-Kamera wird anschließend die exakte Position ermittelt (in µm).
das Kalibrierteil wird mit der Pipette unter 90° abgeholt, optisch zentriert und bestückt. Mit der
LP-Kamera wird anschließend die exakte Position ermittelt (in µm).
das Kalibrierteil wird mit der Pipette unter 180° abgeholt, optisch zentriert und bestückt. Mit der
LP-Kamera wird anschließend die exakte Position ermittelt (in µm).
das Kalibrierteil wird mit der Pipette unter 270° abgeholt, optisch zentriert und bestückt. Mit der
LP-Kamera wird anschließend die exakte Position ermittelt (in µm).
Dieser Ablauf wird ein zweites Mal wiederholt. Aus den 8 Bestückposition wird der Mittelwert er-
mittelt.
Die Abweichung zur Soll-Bestückposition wird als Segment-Offset unten (II) eingetragen.
LP-Kamera -> BE-Kamera-Offset:
Bei der Messung des Segment-Offsets unten (II) wird der LP-Kamera -> BE-Kamera-Offset mit
Segment 1 wie folgt berechnet:
Der Abstand der Kameramitten in X- und Y-Richtung wird in µm berechnet.
Der Mittelpunkt der LP-Kamera ist der Referenzpunkt.
Dieser Abstand wird gespeichert in der REAL.MA unter ‘Kopfoffsets’ bei Kopf 1 (oder in Zukunft
Kopf 2) Kopfoffset_X /..Y. (The Segmentoffset bottom of Segment 1 is 0)
Die Segment-Offsets der übrigen 11 (bzw. 5) Segmente werden in der Datei PIP_OFF.MA ge-
sichert (als Abweichung zu Segment 1).
Für den Segment-Offset unten existieren keine Grenzwerte.