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MS 参数 6- 14 ・ 27m m 视野、 1 0m m 视野 VC S 时 请通过示教按钮调整 DFFP VCS 调节治具的姿势 。 请用 XY 轴和 θ 轴调整，要使中心的 列和行与示教画 面的十字光标重合。 示教完成后请按下确 认按钮。 开始测量。 测量一结束， Head 就移到吸嘴 安装位置 。请按照 画 面的指示卸 下吸嘴和校准片 G 。 ＜操作 ・ 6/6 ＞ 设定完毕。选择了确 认之后，返回到初 期设置画面。 6-5-…
MS 参数
6-13
＜操作・1/6＞
按确认按钮后，7508 吸嘴安装到 Head3 上。
是：当 7508 吸嘴已分配给 ATC 时，进行吸嘴更换。
否：Head 移动到吸嘴安装位置。请用手动安装吸嘴。
吸嘴安装后，请使 Head3 吸取校准片 G。吸取后，Head 移动到 VCS 上。
＜操作・4/6＞
・ 54mm 视野 VCS 时
请通过示教按钮调整校准片 G 的姿势。
请用 XY 轴和θ轴进行调整，使校准片 G 的 5 点与示教画面的十字光标重合。
MS 参数
6-14
・ 27mm 视野、10mm 视野 VCS 时
请通过示教按钮调整 DFFP VCS 调节治具的姿势。
请用 XY 轴和
θ
轴调整，要使中心的列和行与示教画面的十字光标重合。
示教完成后请按下确认按钮。
开始测量。
测量一结束，Head 就移到吸嘴安装位置。请按照画面的指示卸下吸嘴和校准片 G。
＜操作・6/6＞
设定完毕。选择了确认之后，返回到初期设置画面。
6-5-4 MSP 容许值
No.
项目
MSP
容许值
MSP值不良时
出现的问题
检测（更换）项目
1
VCS摄像
机
缩放
54mm 视野
VCS
X
0.05±0.01 图像识别、
贴片精度不良
输入模具的伤痕、
脏污等。
VCS镜头的伤痕、
脏污等
Y
0.05±0.01
2
27mm 视野
VCS
X
0.026±0.002
Y
0.026±0.002
3
10mm 视野
VCS
X
0.0052±0.0002
Y
0.0052±0.0002
MS 参数
6-15
6-6 VCS 摄像机偏差
6-6-1 功能
取得VCS摄像机的坐标值以及装配角度（对Y轴的倾斜）、基准温度。
6-6-2 使用模具
• 3.7 DUMMY WAFER（40035043） • 7506吸嘴（40183426）
(裸芯片)
6-6-3 操作
从菜单中选择“VCS参数”－“调整VCS摄像机偏差”后，显示出下面的VCS摄像机偏差设定画面。
所有选择的Head将连续进行测量。请对要测量的Head全部进行勾选。