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MS 参数 6- 16 <操作 ・ 1/7 > 请将裸芯片装在裸芯 片平台上。完成准 备后,请选择 确认。 选择确认后,会出现 指示,要求将 7 506 号吸嘴安装在。 是:当 750 6 吸嘴已分配给 AT C 时,进行吸 嘴更换。 否: Head 移动到吸嘴 安装位置 。请用手 动全部 H ead 上安装吸嘴。 点击“确定” ,吸取裸芯片后, 移动到校 准台上 。 <操作 ・ 3/ 7 > 自动地从裸芯片平台 吸取裸芯片,移动 到校…

MS 参数
6-15
6-6 VCS 摄像机偏差
6-6-1 功能
取得VCS摄像机的坐标值以及装配角度(对Y轴的倾斜)、基准温度。
6-6-2 使用模具
• 3.7 DUMMY WAFER(40035043) • 7506吸嘴(40183426)
(裸芯片)
6-6-3 操作
从菜单中选择“VCS参数”-“调整VCS摄像机偏差”后,显示出下面的VCS摄像机偏差设定画面。
所有选择的Head将连续进行测量。请对要测量的Head全部进行勾选。

MS 参数
6-16
<操作・1/7>
请将裸芯片装在裸芯片平台上。完成准备后,请选择确认。
选择确认后,会出现指示,要求将 7506 号吸嘴安装在。
是:当 7506 吸嘴已分配给 ATC 时,进行吸嘴更换。
否:Head 移动到吸嘴安装位置。请用手动全部 Head 上安装吸嘴。
点击“确定”,吸取裸芯片后,移动到校准台上。
<操作・3/7>
自动地从裸芯片平台吸取裸芯片,移动到校准台上。
然后,吸取裸芯片的中心,移动到 VCS 识别位置。
<操作・4/7>
该信息一般不显示。仅在 VCS 上识别标记失败的情况下要求进行示教。

MS 参数
6-17
请通过示教使监视器的十字光标基本来到标记的中心,按“确定”。
完成准备后,请选择确认。选择确认后,会出现以下对话框。
只要按“是”,以后进行 Head 测量时移动到最初的 VCS 识别位置时,将成为附加同样示
教移动量的状态。
如按下“否”,对以后的 Head 不附加示教移动量即移动到 VCS 识别位置。
<操作・5/7>
移动到 VCS 识别位置后,测定偏移量。
测定结束后,根据测定结果算出装配位置、装配角度并进行更新。
测量后,自动测量基准温度。
如果还有其他已选择的 Head,将自动进行下一个 Head 的测量。
<操作・6/7>
请从所有指定的 Head 上卸下吸嘴。
<操作・7/7>
设定完毕。选择了确认之后,返回初期设置画面。