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MS 参数 6- 19 6-7 VCS 复合 识别 偏 移量 6-7- 1 功能 取得复合识别时的 XY 偏移量值。(复合识别 只适用 54 mm 。) 6-7- 2 使用模具 • 3 . 7 D U M M Y W A F ER ( 4003504 3 ) • 7 506 吸嘴( 40183 426 ) ( 裸芯片 ) 6-7- 3 操作 从菜单中选择 “ VC S 参数 ”-“ 调整 VC S 复合识别偏差” 后,显示出下 面的复合…

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MS 参数
6-18
6-6-4 MSP 容许值
No.
项目
MSP
容许值
MSP
值不良时
出现的问题
检测项目
1
装配位置
X
±3mm 发生图像识别异常
(在识别范围装不下被识别元件)
VCS组装位置的调整
Y
±3mm
2
装配角度
A
±0.5° 图像识别贴片精度不
* 并无摄像时的检出器,基准温度的容许值。
MS 参数
6-19
6-7 VCS 复合识别移量
6-7-1 功能
取得复合识别时的XY偏移量值。(复合识别只适用54mm。)
6-7-2 使用模具
3.7 DUMMY WAFER40035043 7506吸嘴(40183426
(裸芯片)
6-7-3 操作
从菜单中选择VCS参数”-“调整VCS复合识别偏差”后,显示出下面的复合识别偏移量设定画面。
MS 参数
6-20
所有选择的Head将连续进行测量。请对要测量的Head全部进行勾选。
<操作1/7
请将裸芯片装在裸芯片平台上。完成准备后,请选择确认。
选择确认后,会出现指示,要求将 7506 号吸嘴安装在。
是:当 7506 吸嘴已分配给 ATC 时,进行吸嘴更换。
否:Head 移动到吸嘴安装位置。请用手动全部 Head 上安装吸嘴。
点击“确定”,吸取裸芯片后,移动到校准台上
<操作3/7
自动地从裸芯片平台吸取裸芯片,移动到校准台上。
然后,吸取裸芯片的中心,移动到 VCS 别位置。
<操作5/7
移动到 VCS 识别位置后,测定偏移量。