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MS 参数 7-7 ＜操作 ・ 1/3 ＞ 选择要调整的设备后 ，按下“操作”框 内的“确认” 按钮。 “确认”按钮被按下 后， O CC 向真空校准位置 移动 。 ＜操作 ・ 2/3 ＞ 利用示教设定真空校 准的位置，按下“ 确认”按钮后 ，真空校准的位置被 更新。 ＜操作 ・ 3/3 ＞ 调整结束后，将显示 上述操作内容。选 择“确认” ，即返还初始 画面。
MS 参数
7-6
7-3 VAC-CAL 偏移量（真空校准偏移量）
7-3-1 功能
进行VAC-CAL（真空校准）装配位置的设置。
7-3-2 使用模具
本项目中不使用模具。
7-3-3 操作
从菜单中选择“单元参数”－“真空-校准偏移量”后，会显示以下对话框。
MS 参数
7-7
＜操作・1/3＞
选择要调整的设备后，按下“操作”框内的“确认”按钮。
“确认”按钮被按下后，OCC 向真空校准位置移动。
＜操作・2/3＞
利用示教设定真空校准的位置，按下“确认”按钮后，真空校准的位置被更新。
＜操作・3/3＞
调整结束后，将显示上述操作内容。选择“确认”，即返还初始画面。
MS 参数
7-8
7-4 校准台偏移量
“校准台”是作为各Head单元（台架）之高度基准的装置。
校准台偏移量就是取得这一装置的装配位置以及装配误差。
请将校准台擦拭干净之后再进行这一调整。
7-4-1 功能
计测校准台之第1标记及第2标记的位置，算出2个标记的中心位置。
7-4-2 使用模具
本项目中不使用模具。
7-4-3 操作
从菜单中选择“单元参数”－“校准台偏移量”后，会显示以下对话框。