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Ref No. Remarks R 1 Q'ty 148 塗布ヘッド制御:NPM DISPENSER HEAD(H):NPM ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 N610083275AA Part Nam e 備 考 セク ショ ンNo . PARTS LIST Section No. R 3 PCB 1 1 N6101127…
148
塗布ヘッド制御:NPM
DISPENSER HEAD(H):NPM
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610083275AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O479
( KN610083275AA-12 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
148
塗布ヘッド制御:NPM
DISPENSER HEAD(H):NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610083275AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PCB
1
1 N610112762AA
S
PCB
1
2 N610112761AA
S
CONTROLLER
1
3 N510055083AA
S
E5ZN-2TNH03TC-70-1
O480
--
( KN610083275AA-12 )
149
付属品(塗布ヘッド):NPM
Attachment(DISPENSER HEAD):NPM
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610111666AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O481
( KN610111666AA-08 )