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1 ．据付 1- 7 【手順】 ① マウンタを、所定の場所に移動します。 ② 基板の搬送高さが基準設備のコンベア高さ（900±20m m）（注）になるように、アジャストフットを回転させて調整します。SMEMA 規格対応の場合は、950±20mm にします。 900±20mm（注）または、 950±20m m(SMEMA 規格) 注：CFB ワゴン仕様の場合、900 mm となります。【NOTE】アジャストフットを回転させる際は…

1．据付

据付

電源が入っているときに、電気部品の端子等にさわらないでください。感電、装置の故

障などの危険があります。

必ず本体のアースをとってください。感電、けがの恐れがあります。

【据付時の注意】

① アジャストフットは、ベース部分が約 2°の範囲で動く状態が正常です。

ベース部分を固定しようとして、取り付けボルトを無理やり締め込まない

でください。ボルトが切断する可能性があります。

② マウンタの輸送時および据付時にアジャストフットに無理な力がかから

ないように注意してください。吊り下げたマウンタを床面に置くときには、

マウンタが水平の状態でゆっくり降ろしてください。

警告

2°

無理な力が加わると、

この部分で切断する

可能性があります。

取り付けボルト

ロックナット

アジャストフット

1．据付

【手順】

① マウンタを、所定の場所に移動します。

② 基板の搬送高さが基準設備のコンベア高さ（900±20mm）（注）になるように、アジャスト

フットを回転させて調整します。SMEMA 規格対応の場合は、950±20mm にします。

900±20mm（注）

または、

950±20mm(SMEMA 規格)

注：CFB ワゴン仕様の場合、900 mm となります。

【NOTE】アジャストフットを回転させる際は、呼び寸法 46mm の片口スパナ（M30 ナット用）を使用

します。

③ 水準器をベース部に置き、測定しながら前後･左右の水平が出るまで、微調整を行ない

ます。

＋20

－10

1．据付

④ 水平出しの後、再度マウンタの搬送高さが確保されているか確認します。確認後、アジ

ャストフットのナットをロックします。

【NOTE】アジャストフットのナットをロックする際は、呼び寸法 46mm のメガネレンチを使用します。

⑤ ヘッドをＸ－Ｙシャフトに固定している固定具を取り外します。

⑥ 電源コード、アースを接続します。マウンタにノイズの影響を及ぼす恐れのある機器とは、

必ず別系統で接続してください。

⑦ マウンタ後部にあるエアーレギュレータのエアーカプラに、供給側エアーカプラ 65SN ま

たは、85SN（日東工器）相当品を下図の要領で接続します。配管後、エアーレギュレー

タの指示圧力が 0.5MPa（5.1 ㎏ｆ/c ㎡）を示していることを確認してください。

供給側エアーカプラ

65SN/85SN(日東工器)相当品

エアーレギュレータ

エアーカプラ