M4serviceManual_j.pdf - 第27页

2 .点検 2-3 フィーダバンク ・フィーダバンクの上を清掃する。 ・フィーダバンク上のフィーダが浮いていないことを確認す る。(ヘッド破壊の原因となるので十分に注意すること。) MX-20 (M4e/M4s にオプション 設定) ・パレット上に不要物のないことを確認する。 MXR-20 (M4e/M4s にオプション 設定) ・パレット上に不要物のないことを確認する。 MX-ST2 (M4e/M4s にオプション 設定) ・パレット…

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2.点検
2-2
毎日の点検
目視点検
マウンタの電源(Main スイッチと Power スイッチ)を投入する前に行なってください。
【NOTE】 供給元電源とエアコンプレッサはオン状態で行なってください。
項目 内容
屋内温度と湿度 ・温度と湿度の確認をする。
・温度 精度保証 23±2℃
機能保証 +5℃~+40
(24 時間を超える平均気温が 35℃以下の範囲とする)
・湿度 45%~60%(結露無きこと)
室内の環境 ・塵、ほこりが多い場合はエアーフィルタの汚れを点検する。
・腐食性ガスによる錆が目立つときは、排気口、リフロー炉、
洗浄器を点検する。
供給エアー ・エアーレギュレータの圧力は 0.5MPa(5.1 ㎏f/c ㎡)である
か確認する。
・ドレインに水があれば抜きとる。水があればドライエアの温
度調整を行ない水のたまりを防ぐ。油分が含まれていれば
原因を調査する。
部品捨てトイ (前・後) ・捨てトイの向きが正しいことを確認する。
・捨てトイの横端面がテープガイド (ステーション番号のシー
ルが貼ってあるプレート) の端面と合っていることを確認す
る。
・落下した電子部品等により、捨てトイが浮き上がっていない
ことを確認する。
コンベア ・装置間でコンベアの幅が合っていることを確認する。
・コンベア内に物がないことを確認する。
ヘッド移動範囲 ・ヘッド移動範囲内に不要物等が置かれていない事を確認
する。
スキャンカメラ ・スキャンカメラのミラーとレンズに傷や汚れ等のないことを確
認する。汚れている場合は清掃する。
ミラーに結露、ほこりが付着すると照明光の反射率が低下
するため照明データを明るく変更することになり、かえって
認識率を低下させることになります。これを防ぐために日々
の清掃を心掛けてください。
)
3.機械部、カメラ
固定カメラ
(M4e/M4s にオプション
設定)
・カメラ上のハーフミラー又はレンズ、レンズフィルタに部品
等の落下物や汚れのないことを確認する。必要に応じて清
掃を行なう。
)
3.機械部、カメラ
ANC ・ANC タワーの内外に不要物のないことを確認する。
ノズル ・汚れや変形等があれば手入れや交換を行なう。
)
3.機械部、ノズル
2.点検
2-3
フィーダバンク ・フィーダバンクの上を清掃する。
・フィーダバンク上のフィーダが浮いていないことを確認す
る。(ヘッド破壊の原因となるので十分に注意すること。)
MX-20
(M4e/M4s にオプション
設定)
・パレット上に不要物のないことを確認する。
MXR-20
(M4e/M4s にオプション
設定)
・パレット上に不要物のないことを確認する。
MX-ST2
(M4e/M4s にオプション
設定)
・パレット上に不要物のないことを確認する。
入出力端子盤 ・コネクタ、エアーホースの接続を確認する。
【NOTE】 固定カメラ、及びトレイユニット(MX-20, MXR-20, MX-ST2)は、M4e/M4s のみオプシ
ョン選択可。M4a では選択できません。
2.点検
2-4
手動動作による点検
マウンタの電源(Main スイッチと Power スイッチ)を投入後に行なってください。マウンタ
の状態および運転動作が正常でない場合、エラーメッセージが表示されます。
項目 内容
Power スイッチ
・システムを起動し、メニュー画面の表示が正常であるかを確
認する。
Servo スイッチ
・押したら点灯することを確認する。点灯しなければシステム
を終了し、再度立ち上げてみる。
EMERGENCY STOP
非常停止スイッチ
・機能の確認を行なう。
原点復帰
・原点取得動作が正常であるか確認する。
R 軸(θ軸)位置
(下記【NOTE】参照)
・原点取得後、各ヘッドの R 軸の向きが正常である事を確認
する。
)
3.機械部 /注油/ Z 軸スプラインシャフトのグリス
塗布箇所
ジョグ動作
・X、Y、Z、θ、S 軸を移動させる。座標表示と動作時に異音
がないことを確認する。
吸着動作
・吸着力の確認を行なう。
コンベア
・基板を流して動作を確認する。
ストッパ
・動作確認を行なう。
クランプ
・動作確認を行なう。
ANC
・動作確認を行なう。
ヘッド
・動作確認を行なう。
DI/DO チェック
・動作確認を行なう。
エアー圧力
・ヘッド詰り/ノズル詰り/ソレノイドバルブの確認を行なう。
)
3.機械部 ヘッド詰り/ノズル詰りと、ソレノイドバルブ故
障の確認
【NOTE】 電源 OFF またはサーボ OFF の状態で、R 軸(θ軸)を手で回転させると、その後の原点
取得で R 軸の原点位置が 180 度反転する可能性があります。通常の使用においてこの
問題は発生しませんが、何らかの理由で R 軸を手で回転させてしまった場合は、必ず R
軸原点位置の確認をしてください。なお M4e/M4s ではこの問題は発生しません。
原点位置確認穴
R 軸原点位置点検方法
R 軸原点復帰後、マウンタ正面より
ヘッドのノズルホルダを見て、原
位置確認穴が正面を向いていれ
ば正常です。
ノズルホルダ