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3 ．機械部 3-30 ■ Z 軸ボールネジ･Z 軸リニアガイドのグリス塗布 【手順】 ① マニュアル > 「ノズル情報」画面の操作で全てのノズルを ANC に戻し、次いで J OG 操 作によりヘッドを X 軸中央付近、Y 軸をいちばん手前側に移動します。 ② 上部ヘッドカバーを取り外します。（取り外し方法については、「ヘッドカバー部」項を参 照してください。） ③ マウンタの主電源を OFF します。 ④ Z 軸ボールネ ジ･…
3．機械部
3-29
■Z 軸スプラインシャフトのグリス塗布箇所
Z 軸スプラインシャフト：
サーボモータの電源を OFF する
と、各ヘッドを手で下方向に押し
下げる事ができます。左図の様に
スプラインシャフト部が現れるまで
各ヘッドを下げると、グリスの塗布
が容易に行なえます。
【NOTE】 サーボモータの電源を OFF する方法については、iMS 操作マニュアル第 7 章「サーボ
OFF」項を参照してください。
【NOTE】 各ヘッドを下げたまま X 軸、Y 軸、S 軸を手で動かしたり、フィーダの抜き差し等を行なう
と、各ヘッドがコンベア、フィーダ、スキャンカメラ照明ボックス等に干渉する恐れがありま
す。手でヘッドを下げてグリス塗布を行なった場合、その他の作業を開始する前に必ず
手で全ヘッドを Z 軸原点付近まで上げるか、サーボ ON して Z 軸の原点復帰を行なって
ください。
【NOTE】 電源 OFF またはサーボ OFF の状態で、R 軸（θ軸）を手で回転させると、その後の原点
取得で R 軸の原点位置が 180 度反転する可能性があります。グリス塗布作業中に R 軸を
手で回転させてしまった場合は、必ず R 軸の原点復帰を実行して原点位置の確認をして
ください。原点位置が正常でない場合は、以下の手順で調整します。なお M4e/M4s で
はこの問題は発生しません。
R 軸原点位置が反転した状態で装置を使用すると、ノズル破損、ANC 実行
時の異常停止、スキャンカメラ（ミラー、照明）破損等の原因となります。
ノズルホルダ
回転方向
R 軸原点位置調整方法
①サーボ OFF 状態で、ノズルホル
ダを手で右に 2 回転させる。
②原点復帰を実行し、原点位置が
正常である事を確認する。
ノズルホルダ
原点位置確認穴
R 軸原点位置点検方法
R 軸原点復帰後、マウンタ正面より
ヘッドのノズルホルダを見て、原点
位置確認穴が正面を向いていれ
ば正常です。
3．機械部
3-30
■ Z 軸ボールネジ･Z 軸リニアガイドのグリス塗布
【手順】
① マニュアル > 「ノズル情報」画面の操作で全てのノズルを ANC に戻し、次いで JOG 操
作によりヘッドを X 軸中央付近、Y 軸をいちばん手前側に移動します。
② 上部ヘッドカバーを取り外します。（取り外し方法については、「ヘッドカバー部」項を参
照してください。）
③ マウンタの主電源を OFF します。
④ Z 軸ボールネジ･Z 軸リニアガイド上部にグリスを塗布します。（必要以上に塗布すると、
余分のグリスが飛散します。表面に油膜を形成する程度の適量を塗布してください。）
Z軸リニアガイド
スプラインシャフト Z軸ボールネジ
⑤ 塗布したグリスを可動範囲全体に行き渡らせる為、Z 軸を手で動かします。（各ヘッドを
数回上下させます。）
⑥ 手で全ヘッドを原点高さ付近まで上げます。
⑦ 上部ヘッドカバーを元に戻します。
3．機械部
3-31
■ ノズルホルダのグリス塗布箇所
【手順】
① 綿棒等でノズルホルダの内面を乾拭きし、古いグリス、汚れ等を取り除きます。
② 綿棒等の繊維や埃等がノズルホルダ内部に残らない様、ヘッド真空破壊操作を行ない、
内部の埃等を排出します。
【NOTE】 メインメニュー→マニュアルメニュー→アクチュエータ操作→操作→ヘッド真空破壊で対
象ヘッドを選択して実行します。
③ 新しい綿棒等にシリコーングリスを均一に染み込ませ、ノズルホルダ内面を軽く撫でる様
にムラ無く塗ります。
④ グリス塗布後、ノズルを取り付けてエスケープ動作がスムーズである事を確認します。
綿棒等
ノズルホルダ