Betriebsanleitung_HF3_14_de - 第328页
Einstellungen für die Stickstoff-Flutung festlegen im Rahmen [ N2 Fluten über Ventil] Sie können beim erstmaligen Einschalten der Maschine die Prozesskammer mit Stickstoff fluten. Dies ermöglicht die schnellere Herstellu…
Der Rahmen [N2 Stellglied]
Die folgenden Einstellungen sind abhängig vom eingesetzten Stellglied. Lesen Sie
hierzu das Datenblatt des Stellgliedes:
▪ [Min. Ausgangspannung]: Die Spannung in [mV] eingeben, bei welcher das
Stellglied vollständig geschlossen ist (Durchfluss = 0%)
▪ [Max. Ausgangsspannung] Die Spannung in [mV] eingeben, bei welcher das
Stellglied vollständig geöffnet ist [Durchfluss = 100%).
Der Rahmen [N2 Druckmessung]
Dieser Rahmen wird sichtbar, wenn Sie den vertikalen Scrollbalken nach unten ver-
schieben.
ü Die Meldungsart bei einer Toleranzverletzung der Stickstoffversorgung ändern:
1. Die Checkbox [Meldung N2-Druck zu niedrig als Störung] aktivieren.
ð Bei einer Toleranzverletzung wird keine Wartemeldung, sondern eine Stö-
rungsmeldung angezeigt. Störungsmeldungen müssen quittiert werden.
ü Die Toleranzgrenze des Druckes der Stickstoffversorgung festlegen:
1. Das Eingabefeld [N2 Minimaler Druck] anklicken und den Mindestdruck in
[mbar] eingeben.
ð Wenn dieser Wert unterschritten wird, wird eine Meldung angezeigt.
Funktionsbeschreibung | 6
Ersa GmbH Betriebsanleitung_HF3_14_de | 28.10.2014 327 / 0
Einstellungen für die Stickstoff-Flutung festlegen im Rahmen [N2 Fluten
über Ventil]
Sie können beim erstmaligen Einschalten der Maschine die Prozesskammer mit
Stickstoff fluten. Dies ermöglicht die schnellere Herstellung der Schutzgas-Atmo-
sphäre und somit eine verkürzte Wartezeit.
ü Die Einstellungen für die Stickstoff-Flutung festlegen:
1. Das Eingabefeld [Maximale Zeit N2 Fluten] anklicken und eine Zeit in [min] ein-
geben.
ð Wenn die Checkbox [N2 Fluten bis O2-Level unterschritten] nicht aktiviert
ist, wird die Prozesskammer beim erstmaligen Einschalten gemäß der ein-
gegebenen [Maximale Zeit N2 Fluten] mit Stickstoff geflutet.
ð Wenn die Zeit abgelaufen ist, schaltet das N2-Stellglied N2-Stellglied auf
Normalbetrieb um, und das Fluten wird beendet.
2. Die Checkbox [N2 Fluten bis O2-Level unterschritten] aktivieren.
ð Das Eingabefeld [O2-Level N2 Fluten aus] ist nun editierbar.
3. Das Eingabefeld [O2-Level N2 Fluten aus] anklicken und einen Wert in [ppm]
eingeben.
ð Die Prozesskammer wird beim erstmaligen Einschalten der Maschine ge-
mäß der eingegebenen [Maximale Zeit N2 Fluten] mit Stickstoff geflutet.
ð Wenn der Wert [O2-Level N2 Fluten aus] vor Ablauf der [Maximale Zeit N2
Fluten] erreicht wird, schaltet das N2-Stellglied N2-Stellglied auf Normalbe-
trieb um, und das Fluten wird beendet.
ð Wenn der Wert [O2-Level N2 Fluten aus] nach Ablauf der [Maximale Zeit
N2 Fluten] nicht erreicht wurde, schaltet das N2-Stellglied N2-Stellglied auf
Normalbetrieb um, und das Fluten wird beendet.
ð Hiermit ist der Vorgang abgeschlossen.
Hinweis: Optional kann diese Funktion über ein Bypass-Ventil gesteuert werden.
Funktionsbeschreibung | 6
Ersa GmbH Betriebsanleitung_HF3_14_de | 28.10.2014 328 / 0
Die Checkboxen im oberen Bereich des Rahmens [O2-Mess-Stellen]
▪ [O2 Messgerät 2 Überwachung]
▪ [O2 Messgerät 3 Überwachung]
ü Das O2 Messgerät durch die Steuerung überwachen:
1. Die Checkbox [O2 Messgerät Überwachung] aktivieren.
ð Das Messgerät wird von der Steuerung überwacht. Bei einer Störung wird eine
Meldung angezeigt.
▪ [O2-Button für O2 Messgerät 2 in Basisdialog anzeigen]
▪ [O2-Button für O2 Messgerät 3 in Basisdialog anzeigen]
ü Die Schaltflächen der Restsauerstoffmessung für zusätzliche Messgeräte im Ba-
sisdialog anzeigen:
1. Die Checkboxen [O2-Button für O2 Messgerät 2 in Basisdialog anzeigen] und
[O2-Button für O2 Messgerät 3 in Basisdialog anzeigen] aktivieren.
ð Die Schaltflächen werden nun in der unteren Symbolleiste des Basisdialoges
dargestellt. Im unteren Bereich der Schaltflächen können Sie den aktuellen
Restsauerstoffgehalt in [ppm] ablesen.
Der Rahmen [Mess-Stelle 1]
Toleranzverletzungen überwachen
ü Toleranzverletzungen der Restsauerstoffmessung durch die Steuerung überwa-
chen:
1. Die Checkbox [Auswertung Toleranz] aktivieren.
ð Toleranzverletzungen werden nun von der Steuerung überwacht. Bei einer To-
leranzverletzung wird eine Störungsmeldung angezeigt. Störungsmeldungen
müssen vom Benutzer quittiert werden.
Die Meldungsart bei Toleranzverletzung ändern
ü Die Meldungsart bei Toleranzverletzung der Restsauerstoffmessung ändern:
1. Die Checkbox [Toleranzfehler als O2 Wartemeldung] aktivieren.
ð Bei einer Toleranzverletzung wird keine Störmeldung, sondern eine Wartemel-
dung angezeigt. Wartemeldungen müssen nicht quittiert werden.
Funktionsbeschreibung | 6
Ersa GmbH Betriebsanleitung_HF3_14_de | 28.10.2014 329 / 0