00195941-03-UM SiplaceCA-EN - 第7页
User Manual SIPLACE CA Contents Edition 08/2011 EN 7 3.4.4 Machine Fe et Clearance s and the Stationary PCB Conveyor Edges . . . . . . . . . 133 3.4.4.1 Ma chine Feet Clearances and the Sta tionary Rig ht Conveyor Edge f…
Contents User Manual SIPLACE CA
Edition 08/2011 EN
6
2.10 Disabling the Compressed Air Supply and Discharging the Pressure. . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
2.11 Energy State after Switching Off at the Main Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
2.11.1 Main Switch on Placement Machine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
2.11.1.1 Placement System Switched off at the Main Switch, But Still Connected ... . . . .107
2.11.1.2 Placement System Switched off at the Main Power Switch and Disconnected ...111
2.11.1.3 Compressed Air Conditions in the Machine after Switching off at the Main
Power Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .111
2.11.2 Main switch at the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .111
2.12 Lock Out and Tag Out Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .111
2.12.1 Purpose and Scope . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .111
2.12.2 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112
2.12.3 Testing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
2.12.4 Responsibility and Duties. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
2.12.5 Training . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116
2.12.6 Review . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116
2.13 ETUC Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
2.13.1 What does ESD mean? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117
2.13.2 Important Measures to Protect against Static Charging. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117
2.13.3 Handling ESD Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117
2.13.4 Measurements and Modifications to ESD Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .118
2.13.5 Dispatching ESD Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .118
3 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .119
3.1 SIPLACE CA Performance Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
3.2 Component Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
3.3 SIPLACE CA Connection Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125
3.3.1 Electrical Connection Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .125
3.3.2 Compressed Air Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .125
3.3.3 Compressed Air Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .126
3.3.4 Information on Noise Emmission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .126
3.3.5 Permitted environmental factors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .126
3.4 SIPLACE CA Dimensions and Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127
3.4.1 Dimensions of CA4 Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .127
3.4.2 Dimensions of CA3 Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .130
3.4.3 Height of Open Protective Cover . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .132
User Manual SIPLACE CA Contents
Edition 08/2011 EN
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3.4.4 Machine Feet Clearances and the Stationary PCB Conveyor Edges . . . . . . . . . 133
3.4.4.1 Machine Feet Clearances and the Stationary Right Conveyor Edge
for the PCB Single Conveyor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
3.4.4.2 Machine Feet Clearances and the Stationary Left Conveyor Edge
for the PCB Single Conveyor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
3.4.4.3 Machine Feet Clearances and the Stationary Right Conveyor Edge
for the PCB Dual Conveyor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
3.4.4.4 Machine Feet Clearances and the Stationary Left Conveyor Edge
for the PCB Single Conveyor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136
3.4.5 Technical Data - Dimensions and Weight of Placement Machine . . . . . . . . . . . . 137
3.4.6 Maneuvering Distance for the Component Trolley of the CA4 Machine . . . . . . . 140
3.4.7 Maneuvering Distance for the Component Trolley of the CA3 Machine . . . . . . . 141
3.4.8 Center of Gravity of the CA-Series Machines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
3.4.9 SWS Center of Gravity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143
3.5 Line Concept . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144
3.5.1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144
3.6 Overview of Modules. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146
3.6.1 Overview of Modules in SIPLACE CA4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146
3.6.2 Overview of Modules in SIPLACE CA3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147
3.7 SIPLACE Wafer System (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .148
3.7.1 SIPLACE Wafer System (SWS) Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
3.7.2 Basic SWS Functions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
3.7.3 Basic Die Presentation Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.3.1 Flip Chip Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
3.7.3.2 Die Attach Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
3.7.3.3 Die Recognition and Positioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
3.7.3.4 Ejection Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
3.7.3.5 Pickup Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 154
3.7.4 Details of the Pick & Transfer Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 154
3.7.4.1 Flip Chip Segment 1 (Nozzle) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 154
3.7.4.2 Flip Chip Segment 1 (z-direction). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 155
3.7.4.3 Die Attach Transfer Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156
3.7.4.4 Flip Chip Coded Positions (after Calibration). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157
3.7.5 Overview of Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 160
3.7.6 Description of the SWS Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
3.7.6.1 Supply Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
3.7.6.2 Flip Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .164
3.7.6.3 Wafer Camera System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
3.7.6.4 Wafer Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
3.7.6.5 Die Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 170
3.7.6.6 Ejection Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 172
3.7.6.7 Wafer Changer System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173
3.7.7 Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178
3.7.7.1 Linear Dipping Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178
3.7.7.2 Die Attach Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179
3.7.7.3 Small Die Kit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
3.7.7.4 Wafer Map System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
3.7.7.5 Barcode Scanner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181
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3.7.8 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .181
3.8 Placement Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182
3.8.1 Placement Head Configurations for CA4 Placement Machines. . . . . . . . . . . . . .182
3.8.2 Placement Head Configurations for CA3 Placement Machines. . . . . . . . . . . . . .184
3.8.3 20 Segment Collect&Place CA Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .185
3.8.3.1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .187
3.8.3.2 Control and Self-Learning Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .188
3.8.3.3 Functional Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .188
3.8.3.4 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .193
3.8.3.5 Component Reject Bin Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .193
3.8.4 12 Segment Collect & Place CA Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .194
3.8.4.1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .195
3.8.4.2 Control and Self-Learning Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .196
3.8.4.3 Functional Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .196
3.8.4.4 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .198
3.8.5 6 Segment Collect&Place CA Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .199
3.8.5.1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .201
3.8.5.2 Control and Self-Learning Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .201
3.8.5.3 Functional Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .201
3.8.5.4 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .203
3.8.6 SIPLACE TwinHead for High-Precision IC Placement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .204
3.8.6.1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .205
3.8.6.2 Functional Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .205
3.8.6.3 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .207
3.9 Electrical and Pneumatic Connection Points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 208
3.9.1 Electrical Connection Points (Placement Machine) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .208
3.9.2 Pneumatical Connection Point on the Placement Machine . . . . . . . . . . . . . . . . .209
3.9.3 Electrical and Pneumatical Connection Point at the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . .210
3.10 Controls on the Placement Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 211
3.10.1 Controls and Displays. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .211
3.10.2 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .212
3.10.3 Ergonomical Arrangement of the Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .213
3.10.3.1 Controls on the Operating Fields of the Placement Machine. . . . . . . . . . . . . . . .214
3.10.3.2 Controls on the Input and Output Sides of the Placement Machine. . . . . . . . . . .214
3.11 Controls on the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 215
3.11.1 Controls and Displays. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .215
3.11.2 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .216
3.12 Gantries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 217
3.12.1 Position of Gantry in CA4 MachinesCA4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .217
3.12.2 Position of Gantry in CA3 MachinesCA3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .218
3.12.3 Structure of the X Axis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .219
3.12.4 Technical Data for the X Axis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .220
3.12.5 Structure of the Y Axis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .221
3.12.6 Technical Data for the Y Axis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .222