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2 - 13 Tg 1301 -ID-MD 基板チャック部レイアウト 3 0602 - 001 -(M 831 YE--- 1003 ) 基板チャック部レイアウト 3
2-12
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 2
0602-001-(M831YE---1002)
基板チャック部レイアウト 2
Table 5C4
記 号 名 称
B48 基板横クランプ前進限
B49 幅異常検出（投光側）
B251 レール軸オーバラン（+）
2-13
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 3
0602-001-(M831YE---1003)
基板チャック部レイアウト 3
2-14
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 3
0602-001-(M831YE---1003)
Table 5C5
記 号 名 称
B49 幅異常検出（受光側）
B4D テーブル Z 軸インタロック
B4E テーブル X 軸インタロック（CW）
B4F テーブル X 軸インタロック（CCW）
B171 テーブル Z 軸原点
B173 テーブル Z 軸オーバラン（-）
B191 テーブル X 軸原点
B192 テーブル X 軸オーバラン（+）
B231 基板上下軸原点
B251 レール軸オーバラン（+）