PXH-1 5OM-1321-002_w - 第75页
2 - 14 Tg 1301 -ID-MD 基板チャック部レイアウト 3 0602 - 001 -(M 831 YE--- 1003 ) Table 5C5 記 号 名 称 B49 幅異常検出（受光側） B4D テーブル Z 軸インタロック B4E テーブル X 軸インタロック（CW） B4F テーブル X 軸インタロック（CCW） B171 テーブル Z 軸原点 B173 テーブル Z 軸オーバラン（-） B191 テーブル X 軸原…
2-13
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 3
0602-001-(M831YE---1003)
基板チャック部レイアウト 3
2-14
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 3
0602-001-(M831YE---1003)
Table 5C5
記 号 名 称
B49 幅異常検出（受光側）
B4D テーブル Z 軸インタロック
B4E テーブル X 軸インタロック（CW）
B4F テーブル X 軸インタロック（CCW）
B171 テーブル Z 軸原点
B173 テーブル Z 軸オーバラン（-）
B191 テーブル X 軸原点
B192 テーブル X 軸オーバラン（+）
B231 基板上下軸原点
B251 レール軸オーバラン（+）
2-15
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 4
0602-001-(M831YE---1004)
基板チャック部レイアウト 4
Table 5C6
記 号 名 称
B4A 真空スイッチ
M25 レール幅異常切替えパルスモータ
B4A 真空スイッチ