PXH-1 5OM-1321-002_w - 第76页
2 - 15 Tg 1301 -ID-MD 基板チャック部レイアウト 4 0602 - 001 -(M 831 YE--- 1004 ) 基板チャック部レイアウト 4 Table 5C6 記 号 名 称 B4A 真空スイッチ M25 レール幅異常切替えパルスモータ B4A 真空スイッチ
2-14
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 3
0602-001-(M831YE---1003)
Table 5C5
記 号 名 称
B49 幅異常検出（受光側）
B4D テーブル Z 軸インタロック
B4E テーブル X 軸インタロック（CW）
B4F テーブル X 軸インタロック（CCW）
B171 テーブル Z 軸原点
B173 テーブル Z 軸オーバラン（-）
B191 テーブル X 軸原点
B192 テーブル X 軸オーバラン（+）
B231 基板上下軸原点
B251 レール軸オーバラン（+）
2-15
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 4
0602-001-(M831YE---1004)
基板チャック部レイアウト 4
Table 5C6
記 号 名 称
B4A 真空スイッチ
M25 レール幅異常切替えパルスモータ
B4A 真空スイッチ
2-16
Tg1301-ID-MD
基板チャック部レイアウト 5
0602-001-(M831YE---1005)
基板チャック部レイアウト 5
Table 5C7
記 号 名 称
B211 テーブルθ軸原点
B213 テーブルθ軸オーバラン（-）
M19 テーブル X 軸サーボモータ
M21 テーブルθ軸サーボモータ 16