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PART NAME REMARKS Q'TY 2 ｶﾊﾞｰ部(ｽﾍﾟｰｻ部） COVER SECT. (SPACER SECT.) ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART No. 部 品 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 1046902380 SPACER UNIT ｽﾍﾟｰｻﾕﾆｯﾄ 2 381 104690238101 SPACER ｽﾍﾟｰｻ M52 F10469-02-380 -AA
ｶﾊﾞｰ部(ｽﾍﾟｰｻ部）
COVER SECT.(SPACER SECT.)
2
F10469-02-380-AA
M51
PART NAME
REMARKS
Q'TY
2
ｶﾊﾞｰ部(ｽﾍﾟｰｻ部）
COVER SECT.(SPACER SECT.)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 品 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 1046902380
SPACER UNIT ｽﾍﾟｰｻﾕﾆｯﾄ
2
381 104690238101
SPACER ｽﾍﾟｰｻ
M52
F10469-02-380-AA
X-Yﾃ-ﾌﾞﾙ部(X軸駆動部)
X-Y TABLE SECT.(X-AXIS DRIVING SECT.)
3
F10871-04-000-AF_02-1
M53