SER09989020_YV100II Service_J - 第198页
5- 7 SER09989020 電源接続・ I/O リスト・その他 第 5 章 2 識別 役割 TN01 ﾒｲﾝｽﾄｯﾊﾟｰ TN02 ﾌﾟﾚｰﾄﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ TN03 ﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1 TN04 ｴｯｼﾞｸﾗﾝﾌﾟ TN05 ﾌﾟｯｼｭｲﾝ TN06 入口 ｽﾄｯﾊﾟｰ TN12 ｺﾝﾍﾞｱ 反転 TN13 ｺﾝﾍﾞｱ 作動 TN14 ｺﾝﾍﾞｱ 低速 TP01 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ 上 昇 TP02 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝｸﾗ…
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SER09989020
電源接続・I/Oリスト・その他
第
5
章
2
2. I/Oリスト
2.1 DO
識別 役割
TE01 ﾍｯﾄﾞ1 下降
TE02 ﾍｯﾄﾞ2 下降
TE03 ﾍｯﾄﾞ3 下降
TE04 ﾍｯﾄﾞ4 下降
TE05 ﾍｯﾄﾞ5 下降
TE06 ﾍｯﾄﾞ6 下降
TE07 ﾍｯﾄﾞ7 下降
TE08 ﾍｯﾄﾞ8 下降
TE09 ライト１点灯命令
TE12 ﾍｯﾄﾞ1-2 ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ
TE13 ﾍｯﾄﾞ1-2 ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ
TE14 ﾍｯﾄﾞ1-2 ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ
TE15 ﾍｯﾄﾞ1-2 ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ
TE16 SERIAL CMN OK
TF01 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ1
TF02 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ2
TF03 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ3
TF04 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ4
TF05 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ5
TF06 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ6
TF07 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ7
TF08 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ8
TF14 吸装着ｼｰｹﾝｽ設定
TF15 吸着ﾁｪｯｸｼｰｹﾝｽ設定
TF16 ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽ起動命令
TG01 ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ0
TG02 ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ1
TG03 ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ2
TG04 ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ3
TG05 ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ4
TG06 ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ5
TG07 ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ6
TG08 ﾀｲﾏｰｾｯﾄ ﾋﾞｯﾄ7
TG09 ﾀｲﾏｰ ﾍｯﾄﾞNO指定 ﾋﾞｯﾄ0
TG10 ﾀｲﾏｰ ﾍｯﾄﾞNO指定 ﾋﾞｯﾄ1
TG11 ﾀｲﾏｰ ﾍｯﾄﾞNO指定 ﾋﾞｯﾄ2
TG12 ﾀｲﾏｰ ﾎﾟｰﾄNO指定 ﾋﾞｯﾄ0
TG13 ﾀｲﾏｰ ﾎﾟｰﾄNO指定 ﾋﾞｯﾄ1
TG14 ﾀｲﾏｰ ﾎﾟｰﾄNO指定 ﾋﾞｯﾄ2
TG16 ﾀｲﾏｰ ｽﾀｰﾄ
TH01 ﾍｯﾄﾞ1 吸着
TH02 ﾍｯﾄﾞ2 吸着
TH03 ﾍｯﾄﾞ3 吸着
TH04 ﾍｯﾄﾞ4 吸着
TH05 ﾍｯﾄﾞ5 吸着
TH06 ﾍｯﾄﾞ6 吸着
TH07 ﾍｯﾄﾞ7 吸着
TH08 ﾍｯﾄﾞ8 吸着
識別 役割
TH09 ﾍｯﾄﾞ1 正圧(真空破壊)
TH10 ﾍｯﾄﾞ2 正圧(真空破壊)
TH11 ﾍｯﾄﾞ3 正圧(真空破壊)
TH12 ﾍｯﾄﾞ4 正圧(真空破壊)
TH13 ﾍｯﾄﾞ5 正圧(真空破壊)
TH14 ﾍｯﾄﾞ6 正圧(真空破壊)
TH15 ﾍｯﾄﾞ7 正圧(真空破壊)
TH16 ﾍｯﾄﾞ8 正圧(真空破壊)
TJ01 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1
TJ02 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2
TJ03 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3
TJ04 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4
TJ05 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5
TJ06 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6
TJ07 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7
TJ08 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ8
TJ09 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ1
TJ10 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ2
TJ11 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ3
TJ12 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ4
TK01 ﾌﾞｻﾞｰ
TK02 青/ 黄色ﾗﾝﾌﾟ
TK03 白/ 赤色ﾗﾝﾌﾟ
TK04 緑/ 緑色ﾗﾝﾌﾟ
TK05 基板要求信号
TK07 ｶﾊﾞｰﾛｯｸ
TK08 BA OUT(SMEMA)
TK11 LAMP13 点灯
TK12 LAMP14 点灯
TL01 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ作動
TL02 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 逆転
TL03 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 低速
TL04 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 高速
TM01 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1
TM02 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2
TM03 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3
TM04 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4
TM05 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5
TM06 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6
TM07 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7
TM08 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ8
TM09 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ1
TM10 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ2
TM11 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ3
TM12 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ4
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電源接続・I/O リスト・その他
第
5
章
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識別 役割
TN01 ﾒｲﾝｽﾄｯﾊﾟｰ
TN02 ﾌﾟﾚｰﾄﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ
TN03 ﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1
TN04 ｴｯｼﾞｸﾗﾝﾌﾟ
TN05 ﾌﾟｯｼｭｲﾝ
TN06 入口ｽﾄｯﾊﾟｰ
TN12 ｺﾝﾍﾞｱ 反転
TN13 ｺﾝﾍﾞｱ 作動
TN14 ｺﾝﾍﾞｱ 低速
TP01 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ上昇
TP02 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝｸﾗﾝﾌﾟ
TQ01 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾊﾟﾚｯﾄﾎｰﾑ
TQ02 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ前進
TQ03 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ CLOSE
TQ04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾊﾟﾚｯﾄｾｯﾄ
TQ05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰﾌｯｸ 後退
TQ08 外部ﾄﾚｲ ｺﾝﾍﾞｱ 作動
TQ09 外部ﾄﾚｲ ｺﾝﾍﾞｱ 逆転
TQ10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ-1ﾛｯｸ
TQ11 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ-2ﾛｯｸ
TQ12 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱｰ1ﾗｲﾄ点灯
TQ13 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱｰ2ﾗｲﾄ点灯
TQ16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ｻｰﾎﾞｵﾝ
TR01 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｽﾃｰｼｮﾝ1 吸着
TR02 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｽﾃｰｼｮﾝ2 吸着
TR03 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｽﾃｰｼｮﾝ3 吸着
TR13 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ 吸着
TR15 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ 下降
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電源接続・I/Oリスト・その他
第
5
章
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2.2 DI
識別 役割
NE01 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ1(ﾒﾓﾘｰ)
NE02 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ2(ﾒﾓﾘｰ)
NE03 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ3(ﾒﾓﾘｰ)
NE04 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ4(ﾒﾓﾘｰ)
NE05 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ5(ﾒﾓﾘｰ)
NE06 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ6(ﾒﾓﾘｰ)
NE07 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ7(ﾒﾓﾘｰ)
NE08 ｼｰｹﾝｽ参加ﾍｯﾄﾞ8(ﾒﾓﾘｰ)
NE09 拡張用DI
NE10 拡張用DI
NE11 拡張用DI
NE12 拡張用DI
NE13 拡張用DI
NE14 拡張用DI
NE15 ﾍｯﾄﾞｼｰｹﾝｽ完了
NE16 ﾀｲﾏｰﾋﾞｼﾞｰ
NG01 ﾍｯﾄﾞ01 の下降端
NG02 ﾍｯﾄﾞ02 の下降端
NG03 ﾍｯﾄﾞ03 の下降端
NG04 ﾍｯﾄﾞ04 の下降端
NG05 ﾍｯﾄﾞ05 の下降端
NG06 ﾍｯﾄﾞ06 の下降端
NG07 ﾍｯﾄﾞ07 の下降端
NG08 ﾍｯﾄﾞ08 の下降端
NG09 X 軸原点
NG10 Z 軸原点
NG11 R 軸原点
NG12 ﾉｽﾞﾙ下降
NG15 X 軸ﾘﾐｯﾄ
NH01 HEAD1 吸着判定
NH02 HEAD2 吸着判定
NH03 HEAD3 吸着判定
NH04 HEAD4 吸着判定
NH05 HEAD5 吸着判定
NH06 HEAD6 吸着判定
NH07 HEAD7 吸着判定
NH08 HEAD8 吸着判定
NH09 HEAD1 装着判定
NH10 HEAD2 装着判定
NH11 HEAD3 装着判定
NH12 HEAD4 装着判定
NH13 HEAD5 装着判定
NH14 HEAD6 装着判定
NH15 HEAD7 装着判定
NH16 HEAD8 装着判定
NJ01 Y軸原点
NJ05 Y軸ﾘﾐｯﾄ
NJ08 前側一括交換ﾌｨｰﾀﾞｰ浮き検出
NJ09 ﾌﾙｷｰﾎﾞｰﾄﾞ無効 ｻｰﾋﾞｽｷｰ
NJ10 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ浮き検出
NJ11 前側一括交換用ｴﾘｱｾﾝｻｰ
NJ12 基板搬出許可(GATE IN)
NJ13 ｶﾊﾞｰEMG解除(ｻｰﾋﾞｽｷｰ)
NJ14 ｺﾝﾀｸﾀｰ OK
NJ15 ｶｳﾝﾄﾘｾｯﾄ
識別 役割
NL01 入口ｽﾄｯﾊﾟｰ1基板検出
NL02 ｺﾝﾍﾞｱ入口基板検出
NL03 ｺﾝﾍﾞｱ出口基板検出
NL04 入口ｽﾄｯﾊﾟｰ2基板検出
NL05 前側ｻﾙﾍﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽ
NL09 基板固定位置基板検出
NL10 ﾌﾟﾚｰﾄﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ上昇端
NL11 ﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1 上昇端
NL12 ﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ2 上昇端
NL14 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ ｸﾗﾝﾌﾟ確認
NL15 ﾌﾟﾚｰﾄ固定
NM02 Ｗ軸原点
NM08 後側一括交換ﾌｨｰﾀﾞｰ浮き検出
NM09 ｴｱｰ圧力ﾀﾞｳﾝ検出
NM10 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ浮き検出
NM11 後側一括交換用ｴﾘｱｾﾝｻｰ
NM14 SMEMA DISCRIMINATION
NM15 SMEMA BA IN
NN01 ﾉｽﾞﾙ 1
NN02 ﾉｽﾞﾙ 2
NN03 ﾉｽﾞﾙ 3
NN04 ﾉｽﾞﾙ 4
NN05 ﾉｽﾞﾙ 5
NN06 ﾉｽﾞﾙ 6
NN07 ﾉｽﾞﾙ 7
NN08 ﾉｽﾞﾙ 8
NP13 前側ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ ｸﾗﾝﾌﾟ確認
NP14 前側ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ ｸﾗﾝﾌﾟ確認
NP15 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ下降検出
NP16 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ上昇検出
NQ01 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾊﾟﾚｯﾄ原点
NQ02 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ OPEN
NQ03 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ CLOSE
NQ04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾊﾟﾚｯﾄ ｽﾃｰｼﾞ ｾｯﾄ
NQ08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ1 ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
NQ09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ2 ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
NQ10 ﾏｶﾞｼﾞﾝ1 入(外部ﾄﾚｲ), ﾗｯﾁ開
NQ11 ﾏｶﾞｼﾞﾝ2 入(外部ﾄﾚｲ), ﾗｯﾁ閉
NQ12 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ ﾋﾞｰﾑｾﾝｻｰ
NQ13 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ 吸着
NQ15 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ 下降端
NQ16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 基板判別 CONVEYOR
NR01 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｰｽﾃｰｼｮﾝ1 吸着
NR02 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｰｽﾃｰｼｮﾝ2 吸着
NR03 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｰｽﾃｰｼｮﾝ3 吸着
NR05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ 前進
NR06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ 後退
NR07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 基板判別
NR08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ +24V OK
NR09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ1 ｽｲｯﾁ
NR10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ2 ｽｲｯﾁ
NR11 外部ﾄﾚｲ ｺﾝﾍﾞｱ 入口
NR12 外部ﾄﾚｲ 基板検出
NR13 外部ﾄﾚｲ ｺﾝﾍﾞｱ 出口
NR14 外部ﾄﾚｲ AUTO/MANUAL切替
NR15 外部ﾄﾚｲ 基板ﾁｪｯｸ OK
NR16 外部ﾄﾚｲ W 軸原点