Instructions for Maintenance Guide CN.pdf - 第5页
Page 5 of 6 第 43 页 ( 10 检查真 空 ) 检查有足够的真空。确认所有的真空软管和连接点都没有泄露。 第 45 , 47 页 ( 11 碳过滤器和预过滤 器单元 ) 为了达到有效的真空功能过滤器需要定期检修。在使用真空时闻到强烈 的溶剂气味是过滤器需要更换的标志之一。
Page 4 of 6
第 35, 37, 39, 41 页(9 金色清洁器卷纸的埋头螺钉)
如果卷纸装置可以手动旋转（第 35 页），这表明卷纸装置的埋头螺钉松
动（第 37 页）
拧紧两个埋头螺钉之前先松开如 39 页所示的两个内六角螺钉。
如 39 页所示，将卷纸装置滑动到左边。
如 41 页所示使用“卷纸”按钮旋转卷纸装置让接近孔和第一个埋头螺钉
对齐。
用六角拧紧第一个埋头螺钉。
使用“卷纸”按钮旋转卷纸装置让接近孔和第二个埋头螺钉对齐。
用六角拧紧第二个埋头螺钉。
向后滑动卷纸装置，把之前取掉的两个内六角螺钉再拧紧。
Page 5 of 6
第 43 页(10 检查真空)
检查有足够的真空。确认所有的真空软管和连接点都没有泄露。
第 45, 47 页 (11 碳过滤器和预过滤器单元)
为了达到有效的真空功能过滤器需要定期检修。在使用真空时闻到强烈
的溶剂气味是过滤器需要更换的标志之一。
Page 6 of 6
标 志
说 明
警告
基板边夹：当在机器中操作治具区域的时候要非常小心，以免受伤。
基板的前后边夹都非常锋利！
强制要求
可能存在有毒的化学物质，必须佩戴防护眼镜
强制要求
可能存在有毒的化学物质，必须佩戴安全手套
上报工程师
使用正确的产品清洁被污染的区域
将清洁用品丢入垃圾桶